一台重达180吨、体积相当于一辆校车的庞然大物,能被人神不知鬼不觉地"偷运"进中国吗?这个听起来像段子的问题,最近却被美国商务部长卢特尼克郑重其事地抛了出来。
指控话音刚落,全球光刻机霸主ASML就急匆匆地出来辟谣,态度之坚决、表态之迅速,反倒让事情显得更加耐人寻味。
针对这场风波,知名通信观察人士项立刚在6月21日发文表态,给出了一个让外界大为震动的判断——美方此举不过是在为中国EUV光刻机即将到来的突破提前做舆论铺垫。

在他看来,EUV光刻机说到底也就是一台设备,中国不仅能造出来,迟早还会把它干成白菜价。这话听着像放炮,可放到中国制造业的历史脉络里看,又是一句再普通不过的实话。
圆珠笔芯里的小钢球,曾经被讥讽为"中国造不出来"的代表;DUV光刻机突破之前,外界同样断言中国十年八年没戏。结果呢?
一个个"造不出来"的神话最后都成了笑话。EUV不过是这条名单上的下一个名字而已。

先把这次风波的来龙去脉摆清楚。卢特尼克在公开场合放话,暗示有EUV设备绕过出口管制流入了中国。
ASML的反应可谓刻不容缓,官方明确表态——从未向中国运送过一台EUV光刻机,也从未向中国运送过任何专门设计用于EUV光刻机的组件、模块或设备。ASML急着撇清关系,原因不难理解。

一方面是怕被美方借题发挥,开出天价罚单;另一方面,从最基本的物理常识出发,这种走私本身就是天方夜谭。
这台设备体积大约相当于一辆校车那么大,整机重达180吨,运输和安装需要跨越多国协调,涉及数百名工程师的协同作业,全流程都有极其严苛的物流记录和监管追踪。想让这么个大家伙悄悄进中国,难度堪比让一头非洲象穿过缝衣针的针眼。
更关键的是商业逻辑层面的不可能。ASML自己预计,2026年中国市场的销售占比将降至20%左右,对比2024年中国曾以101.95亿欧元、占其全球总营收36.1%的份额成为ASML第一大市场,这种几乎腰斩的跌幅就是出口管制带来的真实代价。

这家欧洲市值最高的科技公司,会为了一笔非法的EUV交易冒着丢掉整个中国市场、被吊销全球出口许可证的风险?这种买卖谁会做?
项立刚的判断恰恰戳到了要害——美方放出这种风声,本质上是在准备一顶帽子,等中国EUV真正面世那天直接扣上去。这套路并不新鲜,当年华为麒麟芯片归来时,"走私设备""偷技术"的说法就满天飞,事后证明全是子虚乌有。
把对手的成就归结为"偷",本身就是一种深深的不自信。

很多人对EUV存在一种近乎宗教式的神化想象,仿佛这玩意是天外飞仙,只有荷兰人才有资格触碰。撕开这层神秘面纱,EUV说穿了就是一台由零部件堆砌起来的工业设备。
一台先进EUV设备包含超过10万个精密零部件,涉及全球多个高端供应商。零件数量虽然惊人,精度要求虽然苛刻,但每一颗螺丝、每一块镜片都遵循物理规律和工程原则,不存在"只有上帝才能造"的奇迹部件。

ASML之所以能形成垄断,并不是因为技术上无人能及,而是因为这门生意在很长一段时间里几乎没人愿意做。从立项到首台商用机交付,ASML在EUV上闷头烧钱烧了二十多年,前十年连一台都没卖出去。
要不是DUV业务的滚滚利润不断输血,这家公司早就被研发黑洞吞没了。直到今天,EUV的销售规模也远没有外界想象的那么庞大。
2025年全年,ASML的EUV光刻系统销售额同比增长39%,达到116亿欧元,对应确认48台收入,全球累计装机也就三百出头。单台均价约1.74亿欧元,折合人民币超过13亿元,巨额研发投入需要靠极少数客户的长期采购来摊薄。

这种脆弱的商业模式,才是ASML真正心里发慌的根源。一旦中国独立掌握EUV制造,国际芯片设备市场的游戏规则就会被彻底改写。
熟悉中国制造业的人都明白一个铁律——但凡中国进入的工业领域,没有一个最后不变白菜价的。光伏组件、动力电池、显示面板、盾构机、高铁动车、新能源汽车,无一例外。
这背后是14亿人口的超大市场、最完整的工业门类、最激烈的内部竞争三股力量共同作用的结果。中芯国际、长江存储、长鑫存储、华虹半导体等头部晶圆厂的扩产计划,单单本土消化能力就足以养活一个国产EUV产业。

这种规模托底,是任何海外厂商都梦寐以求的奢侈条件。ASML不是不明白这个道理,所以才一边喊着"中国还需要很多年"自我安慰,一边眼睁睁看着中国订单流失却无可奈何。
荷兰高管私下里恐怕比谁都清楚,封锁本身就是最强的催化剂。当年DUV走过的剧本,EUV正在重演一遍。

光说不练假把式,国产EUV到底走到哪一步了?过去一年多的进展,足以让那些"中国还要二十年"的论调彻底破产。
最让业内眼前一亮的,是核心光源的突破。中国科学院上海光学精密机械研究所的研究团队绕过传统二氧化碳激光路线,采用固体激光器技术开发出LPP-EUV光源,已经达到国际领先水平,光源实验平台的理论最大转换效率有望接近6%。
EUV光刻机最难啃的硬骨头就是13.5纳米波长的光源,这一环节实现实质性突破,等于在最关键的关卡上拿下了通行证。另一条更具想象力的路径同样令人振奋。
中国团队选择了与ASML完全不同的技术路线。这条路线叫激光诱导放电等离子体,简称LDP,核心原理是让电极间的锡材料汽化,再通过高压放电将其转化为等离子态,电子与离子激烈碰撞,激发出13.5纳米的极紫外光。
采用LDP技术的原型机有几个显著优点——设计更简洁、结构更紧凑、能耗显著降低、制造成本优势明显。这种"不走寻常路"的策略,恰好绕开了ASML多年精心布下的专利地雷阵和供应链封锁。
产业层面同样捷报频传。国产光刻机产业链已经初步成形,国家大基金累计投入超过6000亿元,推动着整个集成电路产业稳步向前。

集成商阵营里,上海微电子电子作为传统国家队继续推进,民营企业新凯来旗下的上海宇量昇专攻光刻设备,多方力量形成合力。整个格局可以概括为以上海微电子为龙头、科研院所协同攻关、产业链企业全面配套的发展态势。
更接地气的进展来自DUV层面。有报道称中芯国际已经开始测试上海初创企业宇量昇研发的国产浸没式DUV光刻机,这台设备采用了与ASML类似的浸没技术路线,绝大多数零部件实现了国产化,初步测试反馈相当乐观。
DUV的实质性突破,将为EUV的下一步攻关提供宝贵的工艺数据、人才储备和供应链经验。外部环境的压力也在不断倒逼自主突破加速。

美国国会近期提出新法案,意图进一步收紧对华浸没式DUV出口,甚至打算切断对已售设备的售后维护服务,相当于断粮加断药两手齐下。封锁越严厉,国产化的紧迫性就越强;资源投入越集中,技术突破的速度就越快。
这是一种倔强的辩证法——你越是想掐死它,它越是要破土而出。
业内已经把当前这个时期定义为"国产光刻机爆发元年",从28纳米浸没式DUV实现量产交付,到EUV核心技术取得原理性突破,再到纳米压印等新型光刻路线实现产业化应用,中国光刻机在成熟制程站稳脚跟,先进制程多点开花。

每一个节点都在以肉眼可见的速度向前推进。当然,必须承认从原型样机到大规模稳定量产,中间还隔着光源功率、镜片精度、光刻胶配套、整机可靠性等一系列工程化难题。
要在所有指标上完全追平ASML的现有水平,确实还需要一段时间。但问题的关键从来不是"能不能",而是"什么时候"。
项立刚的预测之所以被很多网友视为"放卫星",无非是因为大家对EUV的难度心存敬畏。可中国制造业一次又一次的历史告诉我们,这种敬畏往往是在被神话化的过程中被不断放大的。

盾构机被德国人垄断时也曾被视为天顶星科技,结果中国造出来之后价格从3亿一台跌到不足一半;动力电池被日韩垄断时也曾被认为高不可攀,结果宁德时代和比亚迪杀进去之后全球价格血崩。EUV不会成为例外。
当ASML的设备不再卖给中国,中国的设备最终一定会卖给世界,并且会以一个让全球同行倒吸冷气的价格卖出去。这不是民族主义的口号,而是现代工业最朴素的规律——规模决定成本,市场决定价格。

把180吨重的设备走私进中国是天方夜谭,但把180吨重的设备在中国自主造出来却是迟早的事。等到那一天,EUV光刻机也将和盾构机、高铁、光伏板一样,从天价神器变成普通工业品,从被人卡脖子的痛点变成走向世界的拳头产品。
项立刚那句"白菜价"的大胆预言,到时候不过又是中国制造的一次平常验证罢了。这一天会比绝大多数人想象的来得更快。
更新时间:2026-06-23
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