
一家杭州初创公司,或许正在为中国半导体产业打开一扇新的窗。
普瑞纳诺(Prinano)近日宣布,已与深圳利特拉科技合作,在8英寸硅晶圆上成功验证了光子芯片的大规模生产,全程"完全绕开"深紫外光刻(DUV)工艺,制造成本据称仅为传统路线的十分之一。
这条消息在全球半导体业界激起的涟漪,远比一家初创公司的产品发布会要大得多。
要理解这项技术的意义,首先得明白芯片制造的核心逻辑。过去几十年,主流芯片生产依赖光刻机,也就是用极短波长的光线,将电路图案"曝光"在硅晶圆上。荷兰ASML几乎垄断了这一领域的顶尖设备,其极紫外光刻机(EUV)售价高达数亿美元,每台重量堪比波音737,是全球供应链最精密的产物之一。
纳米压印光刻(NIL)的思路截然不同,它不用光,而是直接用刻有纳米图案的模板,像盖章一样把结构物理压印到晶圆表面。原理上简单粗暴,但在实验室里折腾了几十年,始终难以突破良率低、产能慢、气泡缺陷多等工程瓶颈,迟迟未能进入主流量产线。
普瑞纳诺推出的PL-AS真空气垫纳米压印平台,试图正面解决这些痛点。公司称,该设备采用晶圆级气压控制系统,配合自研双层压印材料,可实现小于10纳米的线宽,并支持8英寸晶圆级量产。这一指标在技术层面已超越了佳能2024年底推出的首款商用纳米压印机(FPA-1200NZ2C),后者的精度约为14纳米。
此前,普瑞纳诺在2025年已交付了中国首台自主研发的半导体纳米压印光刻机,此次8英寸光子芯片晶圆的量产验证,意味着公司正从设备供应商向完整制造解决方案提供商迈进。
需要说清楚的是,普瑞纳诺此次宣布量产的,不是逻辑芯片,不是AI加速器,而是光子芯片。这个区分非常重要。
光子芯片操控的是光信号而非电信号,广泛应用于光纤通信、数据中心互连、激光雷达和传感系统。更关键的是,光子芯片的核心结构,包括光波导、光栅和环形谐振器,大多是高度规则的重复纳米图案,天然适合压印工艺的批量复制。这与逻辑芯片复杂的多层非规则图案截然不同,后者对缺陷率和对准精度的要求,至今仍是纳米压印难以跨越的门槛。
Tom's Hardware的报道指出,普瑞纳诺在声明中并未披露产量、良率、缺陷密度或任何第三方验证数据。这是一个关键的信息缺口。"技术上可行"与"商业上可行"之间,往往还有漫长的工程化道路。
但这并不妨碍这一突破在地缘政治层面的象征意义。美国主导的出口管制不仅封锁了ASML的EUV设备,DUV设备的出口限制也在持续收紧,连佳能的NIL设备也被纳入管制范围,无法自由出口至中国。普瑞纳诺用一套完全自主开发的设备和工艺,绕开了这整条禁运链。
这与华为近期发布的LogicFolding架构异曲同工,后者同样是在EUV封锁下,试图用架构创新弥补制程代差。两个案例都在说明同一件事:中国半导体产业正在为管制围墙的每一个角落,寻找自己的绕行路径。
对于整个行业而言,真正值得追问的问题是:当纳米压印在光子芯片上站稳脚跟之后,它能否向更复杂的存储芯片乃至逻辑芯片延伸?普瑞纳诺自己还没有给出答案,但这扇门,已经被推开了一条缝。
更新时间:2026-06-11
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