项立刚：光刻机这颗明珠很快要变成玻璃珠了！中国已拿下光刻机

2025年3月26日，上海浦东新国际博览中心挤满了人。全球半导体行业的大型展会SEMICON China 2025在这里开幕，展览面积十万平方米，1400家展商同台竞技。

说实话，这场展会的主角不是任何一家国际巨头，而是一个绝大多数人之前压根没听过的名字——深圳新凯来。

那几天刷抖音、翻小红书，到处都是＂光刻机大突破＂的话题，全都跟新凯来绑在一起。展台被围得里三层外三层。这家国产半导体设备新秀一口气发布了6大类31款新品，涵盖扩散、薄膜沉积、蚀刻以及量检测等芯片制造的核心环节。

更有意思的是，产品全用中国名山来命名——＂武夷山＂＂峨眉山＂＂普陀山＂＂阿里山＂＂长白山＂，一款接一款鱼贯亮相，气场很足。

就在第二天，通信业知名观察家项立刚在社交媒体上写了一段话：＂光刻机很快就会被忘记，光刻机这颗明珠很快要变成玻璃珠子了。＂

这话搁几年前说，肯定会被喷。但放到现在，认真对待这句话的人越来越多了。

2019年，华为被美国列入＂实体清单＂，芯片断供的消息从大洋彼岸传过来。台积电没法再给华为代工了，华为海思设计出来的芯片，成了图纸上好看的花纹——看得见，用不了。

那一年，很多人头一回意识到，一颗指甲盖大小的芯片，居然能让一家年营收超八千亿的科技巨头寸步难行。芯片背后真正的＂拦路虎＂，其实是光刻机。

全球光刻机行业是典型的寡头垄断格局，荷兰ASML一家就占了82.1%的市场份额。它家最先进的EUV光刻机，一台售价超过1.2亿美元，总重达180吨，零部件超过10万个，运输要动用40个集装箱，至少出动3架波音747。这种庞然大物，全世界只有ASML能造。从2020年起，美国开始禁止向中国出口。

中国苦光刻机久矣。但故事没有停在＂苦＂这个字上。

2025年3月24日，一则技术消息在国际光电工程学会（SPIE）官网低调发布。中国科学院研究人员成功研发出一种突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射193纳米的相干光，这个波长跟当前主流DUV曝光技术用的光源完全一致。

这意味着什么？直白点说，ASML现在的DUV光刻机用的是氟化氩准分子激光，需要稀有气体、高压电场、精密气体循环系统，复杂得吓人。

中科院这条路完全不同，核心是自制的Yb:YAG晶体放大器，先生成1030纳米激光，然后走两条不同的光学路径做波长转换。转换完了再通过串级硼酸锂（LBO）晶体混合，最终输出193nm波长的激光光束。

说白了，中国走了一条跟ASML完全不一样的技术路线，用国产晶体替代进口稀有气体，从最底层的物理原理上就绕开了西方的专利壁垒。硼酸锂晶体这块，福建的产能是世界第一。原来只是卖原材料的东西，现在一转身成了光刻机的＂心脏＂。

当然了，也别吹过头。中科院的固态DUV激光输出功率目前只有70mW，ASML的ArF准分子激光技术能达到100W以上，差距还很大，暂时满足不了高产能晶圆制造的需求。但是方向走对了，剩下的就是时间与工程化的问题。固态激光器的潜力还远没有挖完。

与此同时，国产光刻机整机的进展也比外界想的快。

2025年5月，上海微电子装备集团（SMEE）宣布交付了首台28nm浸没式光刻机。这是中国在高端芯片制造装备领域一个历史性的节点。

这款设备采用沉浸式光刻技术，利用高折射率液体与多重曝光工艺结合，把等效波长压缩到了110nm，能稳定生产28nm芯片。按照计划，上海微电子2025年交付10台以上，2026年实现规模化量产。

价格方面更值得关注。跟ASML同类型设备对比，国产机型的价格只有它的三分之一，交货周期从一年缩短到三个月。28nm看上去好像＂不够先进＂，但全球大约80%的芯片需求——汽车芯片、电源管理芯片、MCU、物联网芯片，全在这个区间里。

到了2025年9月，更重的料来了。在第25届中国国际工业博览会上，上海微电子头一回公开亮相了极紫外（EUV）光刻机的参数图。虽然离量产还有一段距离，但能拿到台面上来说，本身就意味着EUV光刻机的研发已经走到了可以＂见光＂的阶段。

目前上海微电子的EUV光刻机研发已进入试产阶段，相关技术专利也已提交申请，计划2026年实现量产。这一连串动作下来，远在荷兰的ASML明显坐不住了。

翻翻ASML的财报，一个值得注意的变化正在发生。2025年全年，ASML净销售额达到327亿欧元，净利润96亿欧元。中国仍然是ASML最主要的客户，占到全年销售额的33%，排在全球第一。

但风向在变。受美国出口限制影响，ASML预计2026年中国占销售额的比例会降到20%。2025年荷兰进一步收紧管控，新规把DUV设备的出口限制从7纳米收紧到14纳米，ASML旗下的1970i、1980i等主力机型全部被纳入管制范围。

制裁越收越紧。然而回旋镖已经飞回来了。消息出来当天，ASML股价重挫8.2%，分析师预测其2025年营收将萎缩12%。到了2026年4月，美国跨党派议员更是抛出了《MATCH法案》草案，打算进一步限制对华出口芯片制造设备。

ASML自己心里清楚结果会怎样。正如项立刚所说的那样：＂ASML非常清楚，只要中国企业入场，这个设备很快就会被拿下，然后被干成白菜价。＂

说到＂干成白菜价＂这事，历史上类似的剧本太多了。

拿盾构机来说。1997年，中国花了将近7亿人民币，从德国高价买了两台盾构机，3.5亿一台，爱买不买。不光价格惊人，机器买回来出了故障，还得等外国工程师飞过来修。维修的时候现场拉着警戒线，不让中国工程师靠近看。

2002年，国家把盾构机技术列入863计划。2010年，首台国产土压平衡盾构机＂开路先锋19号＂成功下线，国产化率达到87%。这台机器一出来，原本均价1.5亿元左右的＂洋盾构＂立马在中国市场被迫降价30%。

后来呢？从全面依赖进口，到占领全球70%的市场。全球盾构机的价格，被中国人从7.6亿欧元一路拉到2000多万元人民币。

这个故事跟如今光刻机的处境何其相似。区别只在于光刻机的技术复杂度更高。但是话说回来，今天中国的工业底座、资金实力以及人才储备，也远非2002年可比。

产业链层面也在悄悄起变化。中国半导体行业协会的数据显示，半导体设备整体国产使用率已经从2025年的25%提升到了35%，28nm及以上成熟制程国产设备覆盖率突破了80%。国产28nm浸没式DUV光刻机已完成百片晶圆流片验证，国产化率突破85%，年内就要启动首批次商业化交付。

新凯来的出现更像是一个缩影。这家公司2021年8月才成立，隶属于深圳市重大产业投资集团，是深圳国资委全资子公司。

设备100%自主可控，核心零部件要么自主研发，要么通过战略合作伙伴获取。从零开始，三年多时间，31款设备覆盖芯片制造全流程，这速度确实惊人。

有没有吹过头？肯定也有人在泼冷水。电子创新网创始人张国斌就说过：＂中国半导体设备的进步是所有中国半导体人的努力，不要认为就是靠一家公司可以承担中国半导体突破封锁的重任。＂这话没毛病。但新凯来的意义在于，它体现了一种＂全产业链同时突围＂的中国模式。

项立刚对此有个很到位的概括：＂2021年启动，三年左右的时间，从零开始，形成基本的能力，逐渐面向市场，不是单点突破，而是全系列的全面突破，覆盖产业链的所有环节。＂

再回到那句＂明珠变玻璃珠＂。项立刚的意思从来不是说光刻机没有价值。他真正想说的是——一旦中国攻克了它，它就不再是别人拿来要挟你的＂稀世珍宝＂了。

＂产业的发展，不是有什么神一样用神来之笔突破，而是大量的普通人，用踏踏实实的积累，一点一点熬出来。＂

那些在SEMICON展会上挤不进新凯来展台的工程师，那些在中科院实验室里反复调试193nm激光功率的研究员，那些在上海微电子车间里一遍遍校准物镜的技术人员——就是他们，在一点一点把那颗＂明珠＂磨成玻璃珠。

制裁确实带来了巨大的痛苦。但制裁也办成了一件事——它让所有人达成了一个共识：核心技术必须握在自己手里。这种共识一旦形成，就再也回不去了。

项立刚始终认为，技术不是问题，市场才是大问题。中国半导体企业一旦入场，全世界芯片产业链都会发生重大变化。1.2亿美元一台的光刻机有了中国替代方案之后，价格体系必然要被重新写过。这是产业规律，也是历史规律。

没有哪颗＂明珠＂能永远高高在上。只要中国人决定去摘，它就注定会变成普通人都用得起的东西。盾构机是这样，核磁共振是这样，光刻机也会是这样。制裁只是一时的，将来回头看，不过是一段插曲罢了。