日本首相高市早苗

日本光刻胶厂商恐怕没想到，涨价15%的消息刚传开，我国半导体产业就接连传出新进展。国产高端光刻胶拿下批量订单，先进制程检测设备也开始交付，日本厂商的市场优势正面临挑战。

10月8日，国产掩模基板缺陷检测设备Halo-300正式发运。与此同时，国产KrF、ArF光刻胶也在加快进入晶圆厂。

日本最不愿看到的局面，正在逐渐出现。 过去，高端材料主要依赖进口，如今我国企业开始打破这一格局。

日本仍握有技术优势，但随着国产替代推进，光刻胶涨价这张牌，还能打多久？强化涨价与国产突破的因果把开头改得更有冲突感拆分光刻胶与检测设备两条线

日本涨价的算盘未必如愿

市场消息称，日本JSR、东京应化、信越化学调整全球光刻胶报价，自10月1日起新订单基础涨幅约15%，部分高端ArF产品的报价涨幅更高。

芯片制造离不开光刻胶，材料出了差错，整条产线都可能受到影响。日本企业凭借长期积累的配方、工艺和客户关系，当然有提价底气。

尤其是高端ArF和EUV光刻胶，晶圆厂不可能因为便宜几块钱，就随便换供应商。

每一种材料都要经过缺陷检测、良率评估和长期验证。客户一旦选定合格产品，合作关系便会延续多年。谁掌握稳定供货能力，谁在谈判桌上就更有话语权。

但日本厂商这次未必能把涨幅完整转嫁给我国客户。9月下旬，华虹宏力、士兰微等企业人士表示，当时尚未收到正式调价通知，部分厂商也认为实际成本影响有限。

江苏淮安，工人在芯片生产作业中

有企业透露，光刻胶在其总体成本中只占约1%。外界原以为，涨价会让我国晶圆厂十分被动。现实却更复杂。

晶圆厂已建立多家供应商采购体系，也会保留库存。日本企业能提高报价，却不能因此让所有客户照单全收。

何况涨价并非只有地缘博弈一个原因。人工智能带动存储芯片和先进制程需求，部分高端材料供给趋紧，厂商也需要利润维持研发投入。

日本财务大臣片山皋月

把每次涨价都理解成针对我国的专门行动，反而看不清产业竞争的真正要害。问题在于，报价越高，下游寻找替代品的动力就越足。

日本企业靠技术积累争取利润，可能也在给新竞争者打开市场。这张牌能用多久，得看客户是否还找不到第二家。

我国从关键树脂开始拆招

上海人工智能实验室联合厦门大学、苏州实验室等机构，利用科学大模型和自动化合成平台，研制出高纯度、高一致性的KrF光刻胶树脂。

团队建立了从方案设计到实验验证的循环体系，重要指标达到预期，相关产品还要继续接受客户端验证。

树脂在光刻胶里扮演基础角色。它决定成膜质量和图形保持能力，杂质稍有变化，芯片良率就可能受影响。

过去需要研究人员反复调试的配方，如今开始借助人工智能筛选，再交给自动化装置执行，材料研发终于多了一条路。

这也解释了为何光刻胶不能只靠买设备解决。国外厂商积累了大量配方经验，后来者即便拿到生产线，也未必能做出批次一致的成品。

要想真正减少进口依赖，就得从树脂、光敏成分、纯化工艺到成品配方逐项摸清。绍兴的进展同样值得关注。

当地企业建设百吨级KrF光刻胶树脂自动化产线，一期规划年产能200吨。实验室验证与产业化基地同时推进，说明我国正在解决从研发到供货的衔接问题。

当然，树脂取得进展不等于高端光刻胶全面替代。客户还要测试不同批次的杂质、稳定性和适用工艺，任何一个环节达不到要求，材料就进不了生产线。

技术突破值得喝彩，量产能力还得靠订单证明。从配方研发转向稳定制造，这才是我国要迈过的第一道门槛。 它不够热闹，却决定了国产光刻胶将来能不能持续交货。

我国拿到订单，日本更难守旧局

另一道门槛，正在晶圆厂的采购清单上被撬开。

湖北鼎龙控股股份有限公司

武汉鼎龙股份年产300吨的高端晶圆光刻胶项目投产后，已经向头部晶圆厂交付浸没式ArF和KrF光刻胶，8款产品拿到批量订单。材料进了客户产线，意义就和实验室测试不同了。

南大光电有6款ArF光刻胶通过客户验证并正式销售，彤程新材多款产品已实现稳定批量供应。

彤程新材方面称，部分基础验证周期从过去一两年缩短到半年至一年。日本厂商的涨价消息，恰好碰上国产材料争取客户的窗口期。

展出的高端晶圆光刻胶材料

10月8日发运的Halo-300也有另一层意义。掩模基板检测虽不是光刻胶制造，却同样属于半导体上游的关键能力。材料要能用，检测也得跟上。

若这些环节能互相配合，我国企业面对海外供货变化，就不会只有等待一种选择。日本看似仍掌握高端市场，却也要面对客户试用国产替代品的现实。

它们可以继续凭性能赢得订单，但如果只靠已有市场份额抬价，客户终究会寻找更稳妥的供货方案。这笔生意，谁也没有永久的特权。

北京，中国商务部

然而，我国也远没到宣布全面胜利的时候。行业调查估算，国产KrF光刻胶市场份额仍约一成，ArF只有约5%，更先进的EUV材料难度还要更大。

八款产品拿到订单，不能等同于整个产业链过关。日本光刻胶涨价15%的消息，让市场再次看到海外供应商的议价能力。

我国在关键树脂制备、高端光刻胶批量交付这两处环节取得的进展，则表明旧格局正出现松动。双方的竞争，已经进入客户产线。

中国商务部发言人黄玲

日本企业手里有技术，也有多年经营的客户关系。我国企业手里有庞大的制造需求，还有逐渐积累的订单。

未来谁能占据主动权，看的不是哪家宣布涨价，而是哪家能让晶圆厂放心用上十年。

涨价可以增加一时收入，稳定供货才能留住长久市场。 靠别人定价的日子会越来越少，但要让国产材料成为客户的第一选择，仍要把每一批产品做好。

信息来源：

1.《御微首台覆盖先进制程掩模基板缺陷检测设备交付国内头部掩模基板厂》，2026年10月9日，来源：SEMI大半导体产业网

2.《光刻胶巨头，集体涨价》，2026年10月8日，来源：国际电子商情