ETF午评：半导体设备ETF领涨9.21%，科创综指ETF领跌6.55%

经济观察网ETF午间收盘涨跌不一，半导体设备ETF（159558）领涨9.21%，半导体设备ETF（562590）涨9.03%，半导体设备ETF（560780）涨8.94%，科创综指ETF（589060）领跌6.55%，中概互联网ETF（513050）跌3.27%，恒生互联网ETF（159202）跌3.17%。