华兴源创获得发明专利授权：“晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华兴源创（688001）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统”，专利申请号为CN202211480869.1，授权日为2026年3月27日。

专利摘要：本申请涉及晶圆定位的补偿值测算方法、装置及晶圆定位补偿系统。一个实施例中，通过相机获得晶圆的图像，并根据该图像以相机为基准建立变位坐标系，再结合晶圆在驱动坐标系中的参考图像，可以建立转换矩阵，进而通过计算得到定位需要的补偿值。这样，可以将相机设在晶圆工作空间的上方，通过相机获取晶圆位置，无需在晶圆工作空间内安装光传感器，更加方便晶圆的取放和搬运。此外，通过相机一次采集便可以确认晶圆位置，无需旋转晶圆，节省了单次定位补偿的时间，并且后续可以根据晶圆在相机坐标系中的位置结合转换矩阵实现其他晶圆的定位补偿，进一步缩短了后续晶圆定位补偿的时间，大大提高了工作效率，降低了时间成本。

今年以来华兴源创新获得专利授权28个，较去年同期减少了34.88%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.63亿元，同比减12.7%。

通过天眼查大数据分析，苏州华兴源创科技股份有限公司共对外投资了18家企业，参与招投标项目231次；财产线索方面有商标信息235条，专利信息1476条，著作权信息212条；此外企业还拥有行政许可28个。

数据来源：天眼查APP

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