ASML 作为全球唯一能生产极紫外光刻机的企业,这次是真的被推上风口浪尖了。
近期多个消息称ASML有一台 EUV 光刻机流入中国,但6月20日, ASML亲自出面予以否认向中国出售整台设备。

事情最早是在今年4月份埋下的伏笔,当时美国商务部长霍华德·卢特尼克和ASML的CEO傅恪礼开了个闭门会议,对外说的都是谈ASML在美国扩大投资、加强供应链合作这些常规话题,双方会后都发了通稿,全是正面积极的内容,一点没提光刻机的事。
可谁也没想到,就在这场会议的私下环节,卢特尼克突然变了脸,直接质问ASML高管,说美国有情报显示,有一台最先进的极紫外光刻机绕过了出口管制,偷偷流到了中国。

这话说出来可不得了。要知道,极紫外光刻机是现在全球最金贵的工业设备,没有之一。它是唯一能生产7纳米以下高端芯片的机器,全世界只有ASML一家能造出来。
从2019年开始,美国就逼着荷兰政府下了禁令,绝对不许把这种机器卖给中国。这么多年来,中国企业就算出再多钱,也买不到一台完整的极紫外光刻机。

卢特尼克当时不仅提出了质疑,还当场给ASML施压,要求他们立刻在全球范围内自查所有设备的流向,提交完整的出货台账和转运记录,还警告说如果查实有违规行为,美国就要启动严厉的制裁措施。
这事当时被捂得严严实实,一点风声都没漏出去,直到6月19日,彭博社突然把这个内幕给爆了出来,瞬间就在网上传疯了。

除了整机流入的指控,还有好几个不愿意透露姓名的美国高级官员跳出来说,他们掌握证据,ASML一直在灰色地带向中国出口和极紫外光刻机相关的零部件、模块还有配套设备。
这些官员说得有鼻子有眼,可奇怪的是,从头到尾,美国政府都没拿出任何实质性的证据来证明自己的说法,连个具体的设备编号、物流记录或者交易方都没说出来。就连被指控的ASML自己,都表示从来没见过美国所谓的"证据材料"。

面对这种空口无凭的指责,一向在外交辞令上特别圆滑的ASML,这次态度却异常强硬。6月20日,ASML官方正式发布声明,全盘否认了美国的所有指控。
他们明确表示,公司从成立到现在,从来没有向中国大陆出口过任何一台极紫外光刻机,也从来没有出口过任何专门为极紫外光刻机设计的组件、模块或者配套设备。

为了证明自己的清白,ASML还拿出了实打实的数据。
他们说,目前全球一共有314台正在服役的极紫外光刻机,还有26台已经退役的设备,每一台都有完整的台账记录,公司能实时追踪每一台设备的安装地点和运行状态。经过内部全面核查,中国境内确实没有任何一台极紫外光刻机在运行。

ASML的说法其实很有道理。一台极紫外光机可不是个小玩意儿,它的体积跟一辆黄色校车差不多大,整机重量有180吨,光是零部件就超过十万个。
要把这么个大家伙运到中国,得先拆成几百个集装箱,用好几架大型货机分批运输,还要经过好几个国家的海关检查。
运到地方之后,还得ASML派几十名工程师花好几个月的时间现场组装调试,整个过程根本不可能偷偷摸摸进行。

而且极紫外光刻机特别娇贵,必须依赖ASML原厂的持续维护才能正常运转。它的运行功率超过1兆瓦,里面的光学元件精度要求达到0.1纳米,只要有一点点灰尘或者震动,机器就没法工作。
就算真有人能偷偷把机器运到中国,没有ASML的工程师上门维护,这台价值2亿美元的机器也只能当一堆废铁放在那里。

再说产量,ASML的极紫外光刻机产能特别低。2025年全年他们只出货了44台,2026年计划把产能提升到50到60台。
每一台机器在生产之前就已经被台积电、三星、英特尔这些大客户预定光了,根本没有多余的机器可以偷偷卖掉。
ASML的CEO傅恪礼之前接受采访的时候就说过,所有极紫外设备的去向公司都全程掌握,要么在客户的工厂里正常运转,要么退役之后被拆解回收,绝对不可能凭空消失。

不过话说回来,美国这么紧张也不是没有原因的。现在全球AI产业发展得如火如荼,对高端芯片的需求越来越大,而极紫外光刻机就是生产高端AI芯片的核心设备。
谁掌握了极紫外光刻机,谁就掌握了未来半导体产业的话语权。美国一直想把中国排除在高端半导体产业链之外,就是怕中国在AI领域追上甚至超过他们。

这些年,美国对中国半导体行业的打压越来越狠。从2019年禁止向中国出售极紫外光刻机开始,2023年又加码禁止向中国出口深紫外光刻机,2024年全面落实了相关禁令。
今年4月,美国国会还提出了新的法案,要求进一步收紧对盟友的协调力度,防止中国通过第三方渠道获得半导体设备。

ASML其实也挺为难的。中国市场对他们来说太重要了,2025年中国市场占了ASML全球营收的33%,是他们最大的单一市场之一。
虽然不能卖最先进的极紫外光刻机,但ASML还能向中国出售用于成熟制程的深紫外光刻机,这些业务每年能给他们带来几十亿欧元的收入。如果完全失去中国市场,ASML的业绩肯定会受到很大影响。

可另一方面,ASML又不敢得罪美国。因为极紫外光刻机的很多核心技术和零部件都来自美国,比如光源系统就是美国Cymer公司生产的。
如果美国真的制裁ASML,切断他们的美国供应链,那ASML自己也造不出极紫外光刻机了。所以ASML一直小心翼翼地在中美之间走钢丝,既不想失去中国市场,又不敢违反美国的出口管制规定。

这次美国突然发难,其实也暴露了他们内心的焦虑。这些年中国在半导体领域的进步有目共睹,虽然还造不出极紫外光刻机,但在成熟制程芯片领域已经取得了很大突破。美国越是打压,中国自主研发的决心就越坚定。
现在中国已经有上千名工程师在攻关极紫外光刻机技术,相信用不了多久,我们就能打破国外的垄断,造出属于自己的高端光刻机。

目前这件事还在发酵,美国商务部和白宫都还没有对此事发表进一步的评论,ASML也表示愿意配合相关的合规核查,但坚决反对没有证据的模糊指控。至于这台"失踪"的极紫外光刻机到底存不存在,恐怕只有美国政府自己心里清楚了。

更新时间:2026-06-23
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