花大价钱买光刻机，目的只是多生产几片芯片？如果只看到这一层，就低估了中国企业的打算。

真正让美国政策界警惕的，是设备进入工厂后，伴随使用、调试和研发积累起来的技术能力。机器今天带来产量，经验明天可能推动国产设备进步。

这场围绕光刻机展开的较量，已经从采购延伸到了制造本领。

买来的不只是产能

《芯片战争》作者克里斯·米勒长期关注半导体产业与国际竞争。

他讨论的一个重要问题是：芯片背后，还有设备、材料和制造工艺构成的庞大体系，掌握其中的关键环节，就能影响整个产业。

美国对中国半导体产业的限制，也正是沿着这些环节不断加码。

2018年前后，美国开始加大对中国科技企业的限制，华为随后成为重点针对的对象。2019年，ASML向中国出口EUV极紫外光刻机的道路受阻，中国企业获取先进设备的难度进一步上升。

先进设备买不到，工厂还要建设，生产还得继续。中国企业于是把更多采购需求转向DUV深紫外光刻机。

这些机器能够服务大量芯片制造工序，也是晶圆厂扩产的重要设备。对企业而言，既要满足眼前的生产需要，也要提前考虑未来供应可能发生的变化。

采购规模有多大，ASML的财报给出了直观答案。

中国市场占其系统销售额的比例，从2023年的29%上升到2024年的41%。2024年，ASML总净销售额约283亿欧元，中国客户贡献了约36.1%。中国已经成为这家设备巨头无法忽视的重要市场。

设备买回来以后，工程师的工作才真正开始。

从安装调试到工艺适配，从参数优化到故障处理，每一步都需要团队反复摸索。机器运行过程中遇到的问题，会变成工程师理解制造流程、认识技术难点的具体材料。

这也是采购设备的另一层价值：产线在生产，团队也在成长。

但把使用经验转化成研发能力，还要经过长期投入。光学、光源、精密运动和控制系统，任何一个环节跟不上，整台设备都难以达到工厂要求。

买到机器只是起点，能不能逐步形成自己的技术体系，才决定后面的路有多宽。

五台机器的分量

2026年7月27日，一则国产光刻机消息，引起了市场的集中关注。

《The Information》披露，中国一家获得国资支持的企业开始制造国产浸没式DUV光刻机，初期计划当年生产约5台，2027年约20台，拟交付给中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等企业。

路透社随后跟进，ASML股价当时下跌超过7%。报道同时指出，相关设备的性能、可靠性和量产应用仍需进一步验证。

5台，听起来不多，为什么能引起这么大的反应？

因为市场关注的是供应格局能否出现变化。国产设备一旦进入客户工厂，就能接受真实生产环境的检验，让研发团队获得持续改进的机会。

此前，上海宇量昇已因中芯国际测试国产浸没式设备的相关报道受到关注。围绕国产光刻机的讨论，也逐步从“有没有样机”，转向“能否交付、能否稳定运行”。

这中间隔着一道很高的门槛。

晶圆厂需要设备长时间连续工作，对精度、效率和维护都有严格要求。完成一次曝光，与长期满足生产要求，考验的是不同层面的能力。

因此，首批设备的价值，在于打开从研发走向应用的通道。

围绕光刻机的紧张气氛，还延伸到了EUV领域。2026年6月，媒体报道美国方面担忧，一台ASML的EUV设备可能已经进入中国。ASML明确否认，表示没有向中国交付EUV整机，也没有交付供此类设备使用的相关组件或模块。

另一边，美国国会继续推动限制措施。4月22日，众议院外交事务委员会推进MATCH法案，相关争论已从新增设备出口，延伸到既有设备的服务和维护。

对中国企业来说，问题因此更加现实：除了能否买到设备，还要考虑设备能否长期获得维护，未来扩产又该依靠哪些供应商。

把准备做在前面

面对不断变化的采购环境，中国企业选择提前布局。

2026年9月，外媒援引知情人士消息称，长鑫存储和长江存储储备的ASML深紫外光刻机，可以支持未来三年的扩产计划。提前备货，有助于为后续建设争取时间，也为企业安排生产留下更多余地。

不过，设备储备还需要零部件、维护和其他生产条件配合，才能真正转化为产能。

这笔账的核心，是把眼前生产与长远发展一起考虑：能够采购时做好准备，同时推动国产设备验证，逐步增加供应选择。

最新财报也展示了这场竞争的另一面。

10月14日，ASML公布2026年第三季度业绩，净销售额116.62亿欧元，净利润49.60亿欧元，当季销售光刻系统121台，全年净销售额预期为440亿至450亿欧元。全球客户的需求，仍在支撑其业务增长。

与此同时，出口许可带来的不确定性仍然存在。

早在2024年1月，ASML就公告，荷兰政府部分撤销了NXT:2050i和NXT:2100i设备的出口许可证；同年9月，部分其他浸没式DUV型号也被纳入调整后的许可要求。

采购渠道越不稳定，企业寻找替代供应的动力就越强。国产设备的发展，也因此需要晶圆厂、研发团队和零部件企业更紧密地配合。

晶圆厂提出生产要求，设备企业根据反馈改进，供应商再补齐薄弱环节。这种循环持续下去，才可能把一次突破变成可靠的产业能力。

截至2026年10月20日，接下来的观察点已经很清楚：国产设备能否按计划交付，客户验证能否推进，存储企业扩产能否落地，以及新的出口限制会带来哪些影响。

真正决定追赶速度的，是这些具体工作能否一步步完成。

结语

光刻机可以买回来，制造本领却要靠长期积累。中国企业今天采购设备，是为了保障生产；持续投入国产研发，则是为了让明天拥有更多选择。这场竞争最终比拼的，是谁能把资金、人才和时间变成稳定可靠的能力。机器终究会更新换代，成长起来的工程团队和供应体系，才是继续向前的底气。

信息来源：

1.2026-10-14《光刻机供需持续紧张，ASML单季业绩创新高》-21世纪经济报道

2.2026-10-17《米莱芯程高安：国产光刻机破局，整机集成与零部件攻坚缺一不可》-新浪财经