EUV光刻机重大突破？老美的芯片禁令被践踏，ASML：再不给就没戏

这几年，美国的芯片禁令闹得沸沸扬扬，从2019年把华为拉进实体清单开始，就开始层层加码，目标直指中国的高科技发展。起初是切断先进芯片供应，到后来扩展到设备和软件，荷兰的ASML作为光刻机大头，自然也被卷进去。

从2019年起，荷兰政府就禁止ASML向中国卖极紫外光刻机，这种机器是生产7纳米以下芯片的关键工具。2020年，美国商务部升级规则，要求所有用美国技术的供应商都得申请许可才能给华为供货，这直接让台积电没法继续帮华为代工5G芯片。结果呢，华为的手机业务一度跌到谷底，出货量从高峰期的2.4亿部掉到不足1亿部。

话说回来，美国这么做是为了限制中国在5G和AI领域的竞争力，可没想到这反倒逼着中国企业自己动手。2021年，中国半导体进口额超过3000亿美元，但依赖度高达80%，这时候政府开始大笔投入，国家集成电路产业发展基金首期就砸了2000亿元，支持材料和设备研发。北京、上海这些地方搞起芯片园区，吸引海外人才回流，2022年就有超过5000名工程师加入本土企业。到2023年，美国又细化管制，针对人工智能和超级计算领域，荷兰和日本也跟进。荷兰从2023年初开始限制ASML出口特定深紫外机型到中国，日本的尼康和佳能也调整政策。

中国这边也没闲着，中芯国际用现有的深紫外光刻机，通过多重曝光技术搞定7纳米芯片。2023年8月，华为的Mate 60 Pro上市，里面装的自研麒麟9000S处理器，就证明禁令没完全挡住技术进步。这手机销量破千万，市场份额从禁令前的20%回升到15%。2024年1月，美国推动盟国加强执行，荷兰禁止ASML维护部分已售设备在中国的工作，这让中国工厂成本涨了不少，得自己想办法修。中芯国际投资新建12英寸厂房，产能翻番，月产能到2024年超80万片8英寸等效晶圆。自给率从2021年的16.7%升到25%。

进入2025年，美国在上半年提议新规则针对人工智能芯片出口，预计11月实施。荷兰继续审出口许可，ASML第一季度中国销售占27%，主要是深紫外机型。中国企业像华为继续推芯片迭代，9月发布搭载麒麟9020的折叠屏手机。禁令六年下来，全球芯片市场波动大，2021年汽车行业缺芯减产几百万辆。盟国协调下，出口许可流程更复杂，中国企业靠内部投资和国际采购顶着。到2025年10月，中国芯片产量预计增长14%，比美洲的5%高多了。13个省份部署扶持计划，上海的东方芯港项目覆盖从设计到封装的全链条。

中国一直在追赶，2025年3月有报道说华为在东莞测试EUV元件，计划第三季度试生产，2026年推出本土机器。用了激光诱导放电等离子技术，试图绕过专利。10月，彭博社提到中国投资430亿美元研发光刻，虽然落后，但速度超预期。中国科学院推进实验级设备，商用还需几年。10月27日，南华早报报道，中国研究员在Nature上发论文，突破光刻材料理解，改善缺陷控制和产量。用冷冻电子断层扫描分析光阻簇集，在105摄氏度下减少DUV缺陷99%，但对EUV图案保真度有影响。这算是个小进步，但也暴露了挑战。

另外，中国推出首款本土电子束光刻机，8月15日报道，针对精细图案，虽然不是EUV，但帮着缩小差距。华为据说秘密开发EUV系统，结合本土供应链。SMEE和AMIES这些公司努力造机器，但精度和软件控制还差远了。2025年11月10日，TrendForce报道，ASML的EUV优势靠科技和伙伴，中国短期复制不了。光学、运动台和控制软件是难点，欧洲花了几十年才完善。中国试着逆向工程ASML的深紫外机，但有报道说工程师拆开研究后装不回去，还得找ASML修。这事儿没官方证实，但反映出复制难度大。

禁令对ASML的影响不小。公司2024年对中国销售89亿欧元，占总营收30%。2025年预计降到20%，因为管制升级。12月2日，ASML发声明，新美国出口规则影响在预期内，总营收展望300亿欧元不变。但首席财务官10月15日对路透社说，中国需求下降不是囤货导致，公司准备好应对中国稀土出口控制，长交付期让库存够用。首席执行官彼得·温宁克2023年就说过，美国动机从安全转经济，限制伤公司营收。继任者克里斯托夫·富凯2024年4月表示，维护限制只影响少数工厂，不改2025年展望。但他也警告，如果完全切断，中国本土替代加速，荷兰企业丢份额。

中国半导体企业数量2020年新增2.28万家，到2025年总营收超1.5万亿元。长江存储开发闪存，2022年性能达国际水平，苹果一度测试但10月因压力停了。华为2025年1月宣布麒麟芯片海外应用，手机出货目标1亿部。中国转向俄罗斯和东南亚买二手设备，中芯国际2024年实现14纳米量产，供本地手机和汽车芯片。ASML 2025年第三季度财报，中国需求强，推动15%增长。高层强调，中国市场不可缺，若不供货，本土竞争者崛起。

2024年12月，美国更新管制，加了技术和软件限制，延迟到年底生效。荷兰政府紧跟，审查NXT:1970i和NXT:1980i出口。中国用Yuliangsheng的浸没式深紫外机，目标28纳米，2027年广用，但性能像老ASML，调优需时。2025年10月，美国众议院中国委员会调查，呼吁更紧管制芯片设备对华销售。ASML CFO对彭博说，公司有库存顶稀土限，但供应链重构加速。

整体看，禁令刺激中国独立，行业投资猛增，2022年新增企业超4万家。2025年自给率预计30%，高于2021年。政府基金帮长江存储，华为扩展海外。但差距还在，EUV商用需几年。中国工程师拆ASML机出问题，显示逆向难。ASML高层多次表态，2024年10月访谈，富凯说美国推盟国限，会伤全球供应链稳定。上海微电子推出干涉式光刻机，针对40纳米，逐步缩小差距。

芯片生态重塑，北京上海建园区，2022年集成电路毕业生超10万。ASML担忧本土EUV，传闻中国用SiCarrier和Yuliangsheng赶超。2025年11月，Tom＇s Hardware报道，中国科学家减DUV缺陷，但毁EUV保真，分析光阻簇集。全球经济靠先进芯片，TSMC全靠ASML，禁令让供应链抖。中国可能2030年自给50%，ASML得平衡管制和市场。禁令渐弱，本土创新主导。

这些事儿说明，禁令没完全奏效，中国追赶快。ASML警告，再不给中国机会，本土工具起来，就没戏了。