中国造不出光刻机？中科大副院长：美国造不出，中国永远都不可能

2024年9月，中科大前副院长朱士尧在一次访谈中，说出了一句引发全网热议的话：“美国造不出，中国永远都不可能”。

在中美科技较劲、美国一直卡我们半导体脖子，不让我们搞光刻机技术的情况下，这话听着就格外扎心。

很多人疑惑，作为一个见证并推动中国科技成长的行业前辈，他为什么要唱衰中国？

现在全球芯片厂抢着要的 EUV 光刻机，一台卖 2 亿欧元，相当于 15 亿人民币，有钱还得排队等两年。

可谁能想到，ASML 自己都承认，这台号称 “芯片制造皇冠” 的机器，真正属于他们的核心技术连 10% 都不到。剩下的 90%，全靠全球 5000 多家供应商凑齐，少一个都不行。

为啥这么依赖别人？因为 EUV 光刻机的技术难度，已经突破了物理极限。

就说它的 “心脏” 光源，得发出 13.5 纳米的极紫外光，这种光普通透镜根本挡不住，只能用激光轰锡滴的方式产生。

每秒要精准喷出 5 万滴锡滴，直径只有 30 微米，比头发丝还细，再用高能激光轰成等离子体才能发光。

这套系统的核心部件，来自美国 Cymer 公司，ASML 为了不被卡脖子，2013 年直接花 25 亿美元把 Cymer 整个买了下来。

可即便如此，轰锡滴的主脉冲激光，全世界还是只有德国通快能造，一台光刻机里光这个激光器就值几千万欧元，而且只给 ASML 独家供应。

更要命的是光学系统，EUV 光在真空里传播，每过一面镜子就会吸收 6%-8% 的能量，一台机器要装 11 面镜子，最后剩下的光能不到 1%。

这就要求每面镜子的反射率得达到 70%，表面粗糙度控制在 0.1 纳米以内，相当于把北京大小的地面磨平到 1 厘米误差。

全球能造出这种镜子的，只有德国蔡司，他们从 1990 年代就和 ASML 合作，2012 年才交出第一套量产镜组，ASML 后来还掏了 10 亿欧元买了蔡司 24.9% 的股份，就怕对方断供。

还有精密双工件台，得在真空里以 6 倍音速移动，定位精度不能超过 0.5 纳米，比一根头发丝的万分之一还小。核心马达、传感器全是德国的，ASML 只负责软件控制。

更绝的是 ASML 的玩法：2010 年搞了个 “客户投资计划”，让英特尔、三星、台积电掏了 50 多亿欧元入股，换来优先提货权。

这笔钱正好用来收购 Cymer、绑定蔡司，形成了别人插不进去的 “铁三角”。

所以说，ASML 不是制造商，更像个 “产业链盟主”，把美德荷三国的顶尖技术绑在一起，才造出了这台 “印钞机”。

这就是朱士尧那句话的核心：连 ASML 都得靠全球协作，单个国家想独立造顶尖光刻机，根本不现实。

可为啥这句话会引发争议？因为很多人不知道，美国自己也搞不定这些核心部件。

德国蔡司的光学镜子、通快的高能激光，美国企业至今造不出来，照样得进口。

就连被 ASML 收购的美国 Cymer，核心的锡滴技术也是和德国企业合作完善的，不是美国独自突破。

朱士尧说那句话，根本不是否定中国，而是提醒大家：别被 “非黑即白” 的情绪带偏，光刻机研发不是 “喊口号就能突破” 的，得尊重行业规律。

而中国在光刻机领域的进展，其实比很多人想象中扎实得多。

咱们没有一开始就死磕 EUV，而是先从中低端的 DUV 光刻机下手。

国内唯一能造前道光刻机的上海微电子，早就实现了 90nm 规格机型的规模化量产，国内市场份额超过 80%，一年能卖 50 多台。

到 2025 年 5 月，28nm 浸没式 DUV 光刻机完成首台交付，现在已经批量出货，良率直接冲到 95%，能覆盖汽车电子、消费电子这些主流领域的芯片生产。

更让人意外的是，上海微电子在特色工艺领域已经成了 “隐形大佬”：先进封装光刻机全球市占率 37%，国内高达 85%；LED 系列光刻机全球市占率超 50%，直接主导市场。

2025 年底，他们还以近 1.1 亿元中标政府采购项目，推出的 SSC800/10 型光刻机，填补了国产该类机型的商业化空白。

那为啥咱们暂时还造不出 EUV？答案很简单：核心部件被垄断，而这些部件连美国都没突破。

比如蔡司的多层膜镜子、通快的高能激光，还有日本 JSR、信越化学垄断的高端光刻胶，这些都不是短时间能搞定的。

就拿光刻胶来说，国产 28nm ArF 光刻胶直到最近才实现量产，良率刚超 90%，距离 EUV 所需的高端产品还有差距。

但别急着失望，中国的反击早就开始了。

在光源领域，哈尔滨工业大学已经突破 13.5nm 极紫外光源技术，相当于打通了 EUV 的 “心脏”；

福晶科技生产的激光晶体，全球市占率 60%，本身就是 ASML 的核心供应商，意味着咱们在光源关键材料上已经站稳脚跟。

在整机研发上，上海微电子的扩产计划已经通过审批，产业化进程正在加速。

说到底，光刻机不是 “单个国家的竞赛”，而是全球产业链的协同作战。

中国现在要做的，就是在这个协同体系里，一步步打破核心技术垄断。随着更多技术突破、供应链完善和研发投入加大，中国终将造出自己的顶尖光刻机。

毕竟，科技攻关从来没有捷径，但只要方向对、步子稳，就没有跨不过去的坎。

而那些嘲笑中国 “造不出” 的人，可能很快就会被现实打脸。