前言

2024年9月，美国与荷兰几乎同时对中国独立研发的光刻机技术抛出尖锐批评。

美国媒体连篇累牍宣称中国技术靠“逆向工程”得来，缺乏真正创新；

不仅如此，荷兰的ASML公司更是直接表态，说中国企业绝不可能在短时间内掌握高端光刻机的核心，甚至扬言，中国所谓的技术突破不过是表面文章罢了。

这两场几乎无缝衔接的批评，看似是对中国技术实力的质疑，实则是全球半导体设备领域垄断者面对潜在挑战者时，焦虑感的集中爆发。

美、荷当年的同时发声，不过是为出口限制政策找借口罢了

美荷那一次的同步发声，选在一个非常微妙的时间点。

熟悉半导体领域的朋友应该都有印象，早在美国和荷兰共同发声之前，美方就已经拉着盟友开始对中国半导体产业进行出口管制。

到了2024年9月，荷兰政府突然宣布扩大深紫外光刻机（DUV）的出口许可要求，直接影响ASML对华销售的NXT:1970Ci、NXT:1980Di等型号设备；

几乎在同一时间，美国商务部那边也更新了出口规则，进一步收紧对半导体制造设备的控制，明眼人都看得出来，这就是在想尽办法封锁中国光刻机技术。

于是在批评声集中爆发的第二天，我们做了什么呢？我国工业和信息化部发布重大技术装备推广目目录。

其中明确包含了波长193纳米、分辨率不低于65纳米的氟化氩光刻机，主要用于28纳米及以上芯片生产。

明眼人都能看出，美荷的批评并非单纯的“技术讨论”，而是试图在中国制造出实用化设备前，先从舆论上削弱其技术可信度，同时为自己的出口限制政策找借口。

ASML的态度堪称矛盾

不过，这些批评声里，最让人注意的还是ASML的矛盾态度。

作为全球光刻机市场的“龙头”，ASML占据着超过60%的市场份额，更是唯一能生产7纳米及以下先进制程所需极紫外光刻机（EUV）的企业。

这家公司一边从中国市场赚走大量资金，2021财年中国已是其第三大市场，贡献了14.7%的全球营业额，靠着中国的消费需求实现业绩高速增长；

另一边却跟着美国的步调限制对华出口，从EUV到后来的14纳米以下DUV，一步步收紧供应。

如今中国被逼着自主研发，ASML反而跳出来指责这是“破坏全球产业链”，甚至说中国技术“差得远”。

这种逻辑本身就站不住脚：如果真担心产业链稳定，为何要先切断对中国的设备供应？说到底，ASML怕的不是“产业链混乱”，而是中国一旦实现光刻机自研，会打破其垄断地位，抢走原本属于它的市场份额。

毕竟，ASML自己也曾有过类似困境。

中国为什么一定要自己研发光刻机？

2005年正是靠引进中国工程师林本坚发明的浸润式光刻技术，才避免了破产危机，如今自然不愿看到别人用同样的“自主创新”打破自己的霸权。

既然美荷都在限制出口，中国为什么一定要咬牙搞自研？答案其实很现实。

从2020年开始，美国就对华为、中芯国际等中国科技企业展开全产业链打压，导致华为的手机连5G都用不了——核心原因就是买不到5G射频芯片；

而中国每年进口半导体芯片的花费超过2.1万亿人民币，比原油进口还多1.6万亿，大量依赖进口不仅让相关企业承受亏损，更让整个产业链的安全捏在别人手里。

在这样的背景下，自研光刻机不是“选择题”，而是“生存题”。

其实中国的光刻机研发早有布局，从2002年上海微电子装备集团成立开始，就一步步从引进设备学习，到2010年代中期能推出90纳米级别的设备；

2020年后受国际压力影响，研发速度进一步加快，2022年上海微电子完成28纳米样机测试，2024年12月首批28纳米设备就交付到国内生产线。

值得一提的是，在极紫外光刻机领域，我国也推出了能在2024年量产13纳米产品的EUV-7000，当时称得上是轰动全球。

这些进展不是“一蹴而就”，更不是“逆向工程”，而是二十多年技术积累的结果。

只要有需求在，就不怕被封锁

面对这些质疑，中国的行动比辩解更有说服力。

美荷批评中国“短期赶不上”，但2025年4月，中芯国际就用深紫外多重曝光技术实现了5纳米芯片量产，还直接应用到了华为的处理器上，证明了中国技术路径的可行性；

ASML说中国“缺乏核心部件”，但国内的光刻胶、镜片等供应商也在逐步跟上，本土设备在28纳米以上制程的应用越来越广。

就连ASML自己的CEO都不得不承认，虽然禁售EUV可能让中国技术落后10到15年，但中国半导体产业仍在“持续发展”。

这种矛盾的表述，恰恰暴露了他们的不安。

原因无他，中国是全球最大的半导体消费市场，哪怕2022年遭受美国打压的情况下，我国芯片进口量仍然达到了全球产能的70％。

这足以证明，庞大的需求本身就是创新的驱动力，只要有需求在，就有研发和替代的空间。

结语

如今再回头看2024年9月那场同步批评，更像是一场垄断者的“焦虑宣泄”。

美荷想靠舆论和出口限制挡住中国的脚步，但中国已经在自研的路上走得越来越稳。

或许短期内，中国在高端光刻机领域还会和西方有差距，但至少现在，自主研发已经成了打破技术封锁的唯一出路。

那些批评声没有挡住上海微电子的设备交付，也没有拦住中芯国际的5纳米量产，反而成了中国半导体产业进步的“背景音”。

未来这场博弈还会继续，但中国的方向很明确：别人不给的，就自己造出来。

参考资料：