细美事申请基板加工装置和基板加工方法专利，提供一种基板干燥方法和装置

金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板加工装置和基板加工方法”的专利，公开号CN120237056A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供了一种基板干燥方法和基板干燥装置，该基板干燥方法包括加压步骤、加工步骤和减压步骤，其中，该加压步骤包括以第一温度供应超临界流体的第一供应步骤和此后以高于第一温度的第二温度供应超临界流体的第二供应步骤。此后，在加工步骤中，通过供应与第二温度相同或高于第二温度的第三温度的超临界流体来用超临界流体加工基板。

本文源自金融界