芯片无疑是现代科技的“心脏”，从智能手机、电脑到汽车、工业控制等各个领域，芯片都发挥着不可或缺的作用。

而在芯片制造的复杂流程中，光刻机是最为关键的设备。

提到光刻机，就不得不说荷兰的ASML公司，它在全球光刻机市场占据着绝对的主导地位，尤其是在顶级的极紫外光刻机领域，ASML更是拥有100%的市场份额。

可以说，它几乎掌控着全球高端芯片制造的命脉，ASML的光刻机之所以如此重要，是因为7nm及以下制程的芯片制造离不开它。

目前，全球的顶级晶圆厂，如台积电、三星、Intel等，都高度依赖ASML的EUV光刻机来生产先进制程的芯片。

然而，这一关键技术却成为了某些国家限制中国芯片产业发展的“利器”，美国凭借其在全球科技产业链中的影响力，不允许ASML向中国销售EUV光刻机。

甚至连先进的浸润式深紫外光刻机也设置了禁令，这使得中国的芯片制造企业在迈向7nm以下先进制程的道路上困难重重。

然而，面对美国的诸多封锁，中国的对策也不容小觑，如果国产芯片从这3个方向突围的话，这场芯片博弈很有可能就要结束了！

中国的破局之路

近年来，中国在光刻机领域的研发投入不断加大，科研人员们夜以继日地努力攻关，如今已在多个技术方向上取得了令人瞩目的进展。

而中国的这三条颇具潜力的技术路线，仿佛三把利刃，从不同方向“围攻”ASML的技术壁垒。

第一条路线来自上海微电子，它选择的是与ASML类似的传统技术路线，即从DUV逐步发展到浸润式DUV，最终迈向EUV 。

这条路线虽然成熟，但ASML已经在这条路上深耕多年，积累了深厚的技术优势和专利壁垒。

上海微电子目前推出的氟化氩光刻机，波长为193nm，套刻精度小于等于8nm，仍处于DUV的范畴，与ASML的EUV光刻机相比，上海微电子还有很长的路要走。

每一次技术指标的提升，每一个新部件的研发成功，都让中国离EUV光刻机的目标更近一步。

而这第二条路线就是纳米压印技术，这是一条与传统光刻技术截然不同的路径，璞璘科技传来好消息，他们自主设计研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备已经成功交付给客户。

这台设备的线宽小于10nm，可别小看这个数字，这意味着它在精度上已经达到了与EUV光刻机相媲美的水平。

而且，它并非停留在图纸或者理论阶段，而是实实在在地实现了量产，已经在储存芯片、硅基微显、硅光及先进封装等领域发挥作用。

纳米压印技术的原理与传统光刻不同，它通过模具将图案压印在材料上，就像盖章一样，这种技术有望简化芯片制造流程，降低成本。

虽然纳米压印设备在效率、性能等方面可能还无法与EUV光刻机相比，但它的出现为中国芯片制造提供了一种全新的思路和选择。

这些线路的布阵让中国芯片的破局之路越来越短，而最后一条路线才是成功的开始。

光源突破点亮希望

第三条路线就是EUV光刻光源，它是EUV光刻机的核心部件之一，其重要性不言而喻，上海光机所的林楠团队采用创新的固体激光驱动技术。

利用1微米固体激光激发锡等离子体，成功产生了13.5纳米的极紫外线，且转换效率可能接近6%，几乎是ASML所采用方法转换效率的两倍。

这一成果发表在《中国激光》2025年第6期杂志上，引起了业界的广泛关注，哈尔滨工业大学的科研团队则通过粒子加速辐射的方式，获得了13.5纳米的极紫光。

他们所采用的放电等离子体极紫外光刻光源（DPP技术），具备能量转换效率高、成本低、体积小等优点。

哈工大团队早在2022年就推出了光源样机，2023年完成原型机研发，2024年上半年通过关键测试，如今已经掌握了七项光刻机核心技术，其成果突破速度之快令人惊叹。

这些光源技术的突破，为国产EUV光刻机的研发注入了强大的动力，解决了关键的“卡脖子”问题，让中国在EUV光刻机研发的道路上看到了更为清晰的曙光。

在芯片制造的产业链中，电子特气和半导体前驱体作为关键材料，其国产化进程也在同步推进，2025年中国电子特气市场规模近300亿，并且保持着每年10%的增长速度。

金宏气体、华特气体等国内企业纷纷取得突破，产品已经进入台积电、美光、中芯国际等国际头部晶圆厂的供应链。

不过，在高端前驱体和光刻气等领域，中国目前仍依赖进口，国产化率较低，但这也意味着有着巨大的发展潜力。

2024年全球半导体金属/氧化物前驱体市场规模达17亿美元，同比增长15%，亚化咨询预计，到2028年中国半导体前驱体市场将达12亿美元。

此外，芯片制造工艺与光刻机的配合也至关重要，台积电在芯片制造工艺方面处于全球领先地位，每一代技术都提前布局，投入大量资金进行研发。

2023年其研发投入高达360亿美元，目前已实现3nm量产，更先进的2nm也在研发中，中国的芯片制造企业需要在工艺研发方面迎头赶上，与国产光刻机的研发形成良好的协同效应。

结语

尽管面临重重困难，但中国在科技研发领域的决心和实力不容小觑。

中国以后将不再受限于国外的技术封锁，并且能够自主生产7nm及以下先进制程的芯片，满足国内日益增长的芯片需求。

这不仅将推动中国电子信息产业的全面升级，还将对全球芯片产业格局产生深远影响。

中国的芯片制造企业将凭借成本优势和本土市场优势，在全球市场中占据更重要的地位，打破现有的市场垄断格局。