
话说回来,2024年那会儿,美荷两国在半导体领域对中国的动作越来越大,尤其是针对光刻机这种核心设备。事情得从头说起,美国那边一直把芯片技术当成战略要地,觉得中国要是掌握了先进制程,就可能在高科技竞争中占上风。所以,从2023年开始,美国就拉着盟友一起搞出口管制,荷兰作为ASML的母国,自然成了重点对象。

ASML这家公司,大家都知道,是全球光刻机老大,几乎垄断了高端设备市场。2024年1月,荷兰政府在美国的压力下,取消了对中国几款浸没式DUV光刻机的出口许可,比如NXT:2050i和NXT:2100i这些型号。本来这些设备已经拿到订单,但突然就停了发货,理由就是为了防止技术外流到军事用途上。这事儿一出,中国企业直接受影响,中芯国际之类的厂家采购计划被打乱,不得不转而寻找替代方案。

到了2024年9月,事情升级了。9月6日,荷兰贸易部正式宣布,从第二天起,对分辨率低于90纳米的浸没式DUV光刻设备实施更严格的出口限制。具体的型号包括ASML的NXT:1970Ci和NXT:1980Di,这些都是用来生产28纳米以上芯片的关键机器。不光是新设备不能卖,就连已经卖到中国的老设备,维修、换零件、软件升级都得一个个申请许可,层层把关。荷兰方面说,这是基于国家安全考虑,还提到了情报评估的结果。
几乎同一时间,美国商务部也更新了出口管理条例,把审查范围扩大到量子计算、增材制造等领域,还加强了对第三方转运的监控,比如通过日本或韩国中转的路径都被盯上,甚至云服务也纳入管制,怕有人远程绕过实体封锁。这俩国家动作这么同步,明显是协调好的,目的就是卡住中国半导体产业的脖子,让高端芯片制造至少落后个十年八年。

美荷的这些管制措施,表面上看是技术出口限制,实际上带出了对中国的强烈批评。ASML的CEO在采访中直言,中国在芯片制造的成本和效率上,比台积电落后10到15年。他们的财务主管也跟着说,EUV光刻机里的光源系统复杂度太高,中国企业想追赶,没几年工夫办不到。美国媒体那边,更是把中国研发贴上逆向工程的标签,说缺乏原创能力。
这些话传出来后,舆论场上一片唱衰中国的声音,好像中国半导体就得靠进口,自主研发是白费劲。荷兰经济大臣在议会信件里也承认,这些管制是为了维护技术领导地位,防止设备被用于军事领域。总的来说,美荷两国通过这些声明和行动,公开质疑中国独立研发光刻机的能力和潜力,试图从心理上瓦解信心。

不过,中国这边也没闲着。面对管制,工业和信息化部在9月9日就发布了技术装备推介目录,里面明确列出了国产193纳米光刻机,能支持28纳米以上芯片生产。这份目录不是随便发的,背后有实打实的数据支撑。一份来自信息技术创新基金会的报告显示,中国在芯片装备专利申请数量和创新活跃度上,增速已经领跑全球。
市场反应也挺诚实,欧洲的汽车厂家开始从中国采购成熟制程芯片,因为中国掌握了全球六成左右的成熟产能。管制带来的直接痛点是供应链中断,10月份美国又加码,要求荷兰暂停对华售后支持,导致ASML对华营收占比从近四成掉到20%。这对ASML自己也是损失,荷兰议会内部都有声音担心商业利益。

在这种压力下,中国半导体产业启动了国产替代浪潮。上海微电子这家公司,从2002年成立开始,就一步步从引进技术到自主生产。2016年,他们实现了90纳米光刻机的量产,2024年12月,直接向国内生产线交付首批28纳米浸没式光刻机。中芯国际在这里面起了大作用,不仅帮着优化样机的对准精度和产能,还开了验证产线,当了国产设备的试用先锋。
长三角地区的半导体零部件自给率已经超过70%,比如华卓精科从2016年起攻关双工件台的振动抑制问题,北京科华微电子稳定供应DUV光刻胶,这些环节一个个被补齐。2024年4月,中芯国际和华为合作,用深紫外多重曝光技术,在国产设备上实现了5纳米芯片量产,良品率达到60%到70%,跟三星3纳米早期的水平差不多。

除了传统光刻路径,中国企业还探索新方向。纳米压印光刻技术成了一个突破口,在14纳米节点上取得进展,性能能比肩5纳米工艺。这不是放弃主路,而是多线并进。哈尔滨工业大学在EUV光源研究上,功率已经接近国际标准。
整体策略是深化DUV潜力,同时发展纳米压印,并攻坚自主EUV。这样一来,中国半导体形成了弹性强的技术范式。ASML的CEO后来也承认,管制挡不住中国本土发展,这种多路径策略挺有效。

总的来说,美荷同时发声批评中国光刻技术,根源是担忧中国崛起。但事实证明,管制激发了中国韧性。未来,如果继续对抗,全球半导体产业链会更碎片化,大家都吃亏。希望通过对话,找到平衡点,让技术惠及更多人。
更新时间:2025-11-13
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