河北邯郸：生产“芯片”必用的电子特种气体 国家级绿色工厂

电子特种气体是集成电路、显示面板、半导体、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。在河北邯郸肥乡区，这家国内电子特气龙头企业已经掌握了9项达到国际领先或国内领先水平的核心技术，成为国内电子特种气体收入规模最大的企业，生产的高纯度三氟化氮、六氟化钨等产品广泛应用于国内外高端芯片的生产，截至今年初，企业拥有境内已获得授权的发明专利162项、实用新型专利153项、国际专利3项，来看看这家高新技术企业!

编辑帆帆

来源 央视新闻