
最近半导体圈子里闹得沸沸扬扬的一件事,就是中企光刻机设备的招标结果出来了,这次总共106台设备,分批放消息,第一批28台里头,光刻机部分有7台,全被本土厂商拿下,日本企业捡了剩下的,日本尼康和佳能这些老玩家在封装领域还是有点底子的。ASML呢,这次直接零订单,啥也没捞着。
说实话,这事儿一出,网上到处是讨论,有人说这是摊牌了,中国半导体开始往自主方向猛冲,也有人觉得ASML被挤兑得有点惨,但仔细想想,这背后是供应链安全的问题在作祟。毕竟,美国那边从2019年就开始针对华为搞芯片管制,2020年5月改规则,凡是用美国技术的企业想给华为供货,得先拿许可。这不光坑了华为,海思的麒麟9000成了绝唱,台积电2020年9月后就停手了。ASML也跟着遭殃,EUV高端机从2019年起就禁出口中国,2023年6月荷兰政府开始要许可才能卖部分DUV,2024年1月正式收紧,ASML对中国交付量开始掉,但2024年全年还卖了大概100台DUV,主要给成熟工艺用。

中国这边呢,企业们一看供应不稳,赶紧调整。像中芯国际,2020年上美国实体清单,7nm以下设备拿不到,产能卡在那儿。2021年,国家集成电路基金砸钱进去,上海微电子得益,加速90nm光刻机开发。2022年,他们测试完90nm干式DUV,良率过关,第一批给华虹半导体试跑。2023年,中芯国际内部比对,本土设备维护费低15%,但分辨率还得调。2024年上半年,美国商务部又出新规,限ASML维护老设备,中国企业开始囤零件。长江存储3月买了好几台DUV,拖了俩月才到手。ASML老板在4月财报会上说,中国占他们收入49%,但2025年估计降到20%。工信部7月出指导,推设备国产化,目标2025年30%。哈尔滨工业大学9月放EUV光源消息,波长稳在13.5nm,功率涨20%。

本土企业动起来了,积塔半导体10月测上海微电子的SSA600,适合65nm,装机三周,产量稳。2025年一季度,ASML卖了28台DUV,但许可闹腾,有些订单黄了。上海微电子5月交首台28nm浸没式DUV,本土零件70%,光源密度高40%,中芯国际用后效率升10%。长光华芯给激光,国望光学做镜头,反射率98%。日本尼康佳能在封装卖得好,2024年对中国出口涨15%,美国零件少,安全点。2025年二季度,好几家厂升级,选本土和日本的,避风险。
拓荆管光刻胶,沪硅产业供硅片。6月,国家大基金三期投光刻,上海微电子团队扩到500人,冲14nm。外头压力大,7月中芯国际产能计划,本土设备占25%。华虹8月迁90nm线,用本土机,成本降25%。9月荷兰紧DUV许可,ASML订单少。长江存储10月让ASML回购设备,防专利事儿。11月招标前,半导体协会评估,本土机在成熟节点强,中标机会大。这些事儿堆一块,推动招标偏自主,ASML份额从2024年主导滑坡,本土日本补位。

招标细节,总106台,盖多家厂,分批公布。2025年11月,第一批28台,光刻7台全本土。上海微电子拿3台SSA800,28nm浸没,分辨28nm,叠加精度5nm,每小时200片。12月交中芯国际北京厂,测一个月,良率瞄95%。华虹买2台90nm,激光源150mJ/cm²,NA0.75,兼容老线。11月底到,调试光刻胶均匀1%内。积塔1台65nm,国望镜头反射98%,长光华芯激光稳。长春光机所1台光源,193nm波长。标准重供应链安全,本土价低30%,维护快一周。剩21台日本,尼康12台NSR-S630D,45nm,后道工艺,2026年1月交。佳能9台FPA-6300ES6a,每小时250片,多层对准。

ASML投了标,但许可不确定,交付保证不行,11月10日评审否决。一周查参数,本土自主分高。11月15日公示,国产率25%,比2024涨10%。中芯国际调研优先本土避险。文件要兼容氟化氩,本土过关。沪硅硅片测兼容。18日公示后,签合同,上海微电子加班保时。日本封装强,尼康历史厚,美国技术少,安全。招标日本标稳供,无中断。ASML零单,市场转,2025中国采购2000亿,国产15%。

这事儿说白了,就是外部管制逼中国自力更生。ASML以前在中国赚翻,2024年上半年营收115亿欧元,中国占42%,但管制一紧,2025年毛利降,订单少。荷兰政府1月不公开对华销售,遮点啥。长江存储10月要回购,专利危机。林毅夫说ASML怕中国三年掌握,赶出市场。国家投370亿欧元EUV,2025三季度试产,2026批量。中国市场大,ASML CFO说需求强,超25%。但企业怕卡脖子,用本土日系稳。上海微电子从90nm到28nm,进步快。华虹中芯用后,产能稳,成本低。日企尼康佳能封装牛,减少美件,安全。
整体,半导体国产率升,避风险。未来,AI推需求,存储逻辑扩,但自主核心。企业继续研发,不靠外,供应链稳。
更新时间:2025-11-19
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