不装了?ASML直言中国光刻机技术是偷来的,外媒:真可笑

去年下半年,荷兰这家光刻机大厂的业绩有点儿下坡路。2024年第三季度,他们净销售额报了74.7亿欧元,环比涨了20%,但同比只爬了9%,分析师们本来盼着15%的增速,结果落空了。股价那天直接砸了16%,创了1998年以来的单日最大跌幅。首席执行官克里斯托夫·富凯在电话会上直言不讳,说出口管制拖了后腿,尤其是亚洲订单缩水,中国市场贡献从49%滑到47%。订单净额才26.3亿欧元,环比腰斩一半,远低于预期。EUV系统销售2.07亿欧元,环比小涨9.7%,但同比倒退10.5%,高端货交付节奏明显慢下来。

这业绩压力不小,ASML就开始把锅甩向中国。10月15日的财报会上,富凯头一回公开聊知识产权风险,说安全团队抓到一个中国籍前员工,在离职前从服务器上拷走了50GB设计文件。这些东西主要是DUV光刻机的光学镜头参数和激光干涉仪数据,针对NXT:2000i型号的分辨率和光刻胶涂布模型。日志显示,那人最后一周进共享驱动器12次,用U盘导出了敏感文件夹。公司赶紧报给荷兰出口管制局,还找第三方审计。富凯在媒体上补充,这些数据要是流出去,能帮对手抄核心部件,绕过美国商务部8月更新的DUV清单管制。那清单把193nm浸没式DUV机型列进审查,禁向中国大陆出口高性能版。

消息一出,国际媒体就炸锅了。彭博社10月18日发文挖根儿,说ASML上半年对中国交付近200台DUV,总值超100亿欧元,库存堆了15%。富凯的指控听着像转移视线,盖住研发花销飙到28亿欧元的事实。美国司法部旧档显示,这不是头一回了,2018年XTAL案里,一个前ASML工程师被判偷源代码,给北京的Dongfang Jingyuan子公司用。ASML律师帕特里克·瑞安当时在法庭上说,这是“系统性技术转移策略”,为中国政府捞好处。2024年10月,ASML还给客户发警告函,包括中芯国际,提醒别跟涉嫌侵权的企业沾边,免得吃法律官司。路透社跟进,说荷兰政府介入了,考虑吊销那员工签证。

11月上旬,ASML年度报告的“知识产权风险”章加长了篇幅,说被盗文件直指光刻胶系统和对准传感器算法。富凯在荷兰商报NRC访谈里举例,2024年9月中国工信部推的两款国产光刻系统,38nm分辨率跟ASML的NXT:2000i吻合85%,疑是逆向工程。报告还拉XTAL案垫背,说现案是续集。ASML安全主管内部备忘录透露,那员工背景有华为供应商会议记录,但没硬证据。亚洲时报10月29日发文质疑,说ASML证据链松散,就凭日志和参数比对,定不了性。文章引半导体分析师,说中国2024年研发投超400亿美金,本土专利2.5万件,光刻进步多靠激光干涉仪本土迭代,不是单一起源泄露。

美国出口管制升级,让ASML更难受。2024年1月2日,荷兰政府部分撤ASML的NXT:2050i和NXT:2100i出口许可,影响三台价值1.5亿欧元的DUV系统给中国客户。ASML声明,这是美荷联合审查,预计2024年对华销售额占比降20%。3月,美国商务部要盟国停对中国客户维修DUV,ASML上海团队缩30%。8月规则更新,把DUV浸没机纳入管制,首席财务官罗杰·达森在投资者会上承认,2025年中国业务净销售额会跌到60亿欧元以下。华尔街日报分析,ASML对华依赖重,2023年中国订单占营收46%,禁令全推,公司毛利率可能掉3个百分点。ASML回应,说跟荷兰当局协调好维修日志报告,但事件对2024财务没实质影响。

这一堆动作,让ASML指控显得急吼吼。11月中旬,公司补声明,说被盗数据多是2018年DUV原型,没EUV核心光源算法。已升级访问控制,加多因素认证和AI行为监测,安全预算多5000万欧元。富凯淡化,说“微不足道”,重申2025总收入目标300亿到350亿欧元。中国外交部发言人王文斌10月回应,说这类指控是“无端抹黑”,强调中国光刻靠自主研发,像上海微电子的28nm浸没系统已交付50台。事件没闹上法庭,但暴露ASML的地缘尴尬:一边美国压,一边中国市场诱人。全球半导体协会数据,2024年中国芯片设备国产率升30%,ASML份额从80%掉65%。这“偷窃论”听着更像生意焦虑的发泄,不是铁板钉钉的控诉。

转到ASML公开说中国技术来源那块,11月指控升级了。年度报告正式把“中国光刻机关键模块源于窃取”写进核心章。富凯在NRC访谈直说,中国企业短时间掌握复杂工艺“除非内部渠道给蓝图”。他列参数对比:国产系统光刻胶厚度控制误差0.5nm,跟ASML设计对得上。报告链接XTAL案,说2019年美国法院判确认技术转移路径,现案续上。ASML引内部审计,那员工离职后进华为海思,但调查没文件传输证据。公司还警告客户,涉嫌侵权产品可能引二次审查。彭博社11月5日报道,说ASML这步跟美国司法部协调,放大出口管制效果。

外媒反应两极分化。亚洲时报10月29日文章标题直戳“可笑指控”,作者引专家说,ASML证据弱,就日志和参数,证不了移植。报道详说中国2024专利布局:中科院光电所EUV镜面反射率70%验证,基于本土激光诱导等离子体路径,跟ASML的LPP法大不同。路透社补刀,说ASML2023年违规卖20台DUV给中国,曝光后公司自保放大窃取故事。华尔街日报分析,ASML对华销售49%,但2025管制降20%,股价晃5%。外媒多视“偷窃论”为生意招,忽略中国高校贡献,像哈尔滨工业大学2024年EUV光源效率超3%。

质疑重心转ASML动机。11月12日,全球时报英文版刊文,上海微电子28nm DUV交付中芯国际10台,用本土光源模块,分辨率跟ASML差15%。文章强调,中国拆老款DUV时坏部件,向ASML求修,日志只常规故障,没技术外泄。外媒还扒ASML内部矛盾:2024年10月修一台上访中国工厂的DUV,ASML工程师记“逆向痕迹”,但没报异常。德意志之声报道,SMEE 2023年申请EUV辐射发生器专利,从DUV转EUV路径独立于ASML蓝图。外媒讽刺,ASML自信从垄断来,却低估中国投:2024年半导体基金超500亿美金,哈尔滨团队三年攻LDP光源。

ASML公开表态火上浇油。富凯11月投资者日说,中国突破“不可能自主”,外媒反击:中南大学实验EUV整体结构拆解完,难题只功率稳定。亚洲时报列数据,2024年中国光刻设备产50台,盖汽车芯片线,技术靠专利堆。路透社指,ASML忽略出口禁令副作用:2019年起禁EUV,逼中国本土迭代。外媒曝光ASML库存压:2024年DUV囤200台,值100亿欧元,指控或推销旧机。全球观察家觉得,ASML的“偷来”调调露偏见,忽略中国如华为的SAQP技术,在DUV上搞3nm等效。

ASML指控虽从业绩压和美方协调来,但后续中国EUV光源验证和DUV量产推进,证本土路径独立。出口管制延进程,却加速国产,2025年SMEE交付或100台。ASML澄清数据影响小,行业格局稳,中国份额升15%,全球供应链重塑在即。

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更新时间:2025-11-26

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