细美事取得提高金属离子针对基板吸附率的基板处理装置及方法专利

金融界2025年8月2日消息,国家知识产权局信息显示,细美事有限公司取得一项名为“基板处理装置及方法”的专利,授权公告号CN115295440B,申请日期为2022年04月。

本文源自金融界

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更新时间:2025-08-05

标签:科技   美事   离子   装置   专利   金属   方法   金融界   国家知识产权局   本文   日期   消息   公告

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