科磊申请用于单束及多束系统的自动聚焦方法专利，用自动聚焦模型确定图像的焦点偏移

金融界2025年8月2日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“用于单束及多束系统的自动聚焦方法”的专利，公开号CN120418922A，申请日期为2024年05月。

专利摘要显示，将施加有第一像散的电子束引导于载台上的工件处。检测从所述工件反射的所述电子束且产生所述工件的施加有所述第一像散的图像。将自动聚焦模型应用于所述图像以用所述自动聚焦模型确定所述图像的焦点偏移。

本文源自金融界