光刻机巨头开始慌了，中国造不成光刻机，但是要造一个光刻工厂！

2023年初，彼得·温宁克在ASML财报会上说：“出口管制会促使中国成功开发出自己的技术。”

这句话中一部分因素是从自身利益出发，当时中国市场占据ASML总销售额的15%，是该公司不可忽视的客户群体。这一比例甚至一度攀升至46%。

这么大一棵摇钱树，就这样在美国的压力下断了。

2024年一季度，荷兰光刻机巨头ASML的财报上出现了一个让管理层坐立难安的数字：对华销售额占比飙升至49%，中国连续三个季度成为其最大市场。

这个数字像一面镜子，照出了这家全球光刻设备霸主的尴尬处境，一边是美国持续施压下的出口管制枷锁，一边是中国市场这块不得不抓的"摇钱树"。

新任CEO富凯上任后在《华尔街日报》采访中直言不讳："施加的限制越多，就越会促使对方自力更生。"

这句话与其前任温宁克的警告如出一辙，2023年初温宁克就在财报会上敲过警钟："出口管制会促使中国成功开发出自己的技术。"

ASML的焦虑不是没有道理。回溯到2023年，当出口封锁的风声刚透出来时，中国客户立刻启动"战略性囤货"，短期内让ASML的订单量激增，但明眼人都看得出来，这不过是提前透支未来市场。

更让ASML揪心的是其在中国的维护业务，数千台已部署设备的定期保养和零部件更换，早已成为公司稳定的现金流来源。一旦连这些服务都被政治力量限制，ASML与中国市场最后的纽带也将断裂。

温宁克在2023年9月的行业论坛上说得很实在："中国有足够的人才，也有足够资源找到替代方案。"

当时不少西方媒体还将其视为商业游说，直到清华大学的SSMB-EUV方案逐渐浮出水面，人们才意识到这位老CEO的预判有多精准。

传统EUV光刻机之所以被称为"人类工业皇冠上的明珠"，核心卡在极端小型化的光源系统上。

ASML用了几十年时间，整合了全球供应链的顶尖技术才实现商业化，其光源系统涉及数万零部件的精密集成，专利壁垒密不透风。

中国要走同样的路，无异于从零开始跟跑几十年，这显然不现实。但中国人的智慧恰恰在于不按常理出牌——既然造不出"光刻机"，那就直接建"光刻工厂"。

清华大学牵头的SSMB-EUV方案，正是这条独特路径的核心。这个2017年就启动的项目，背后有着国际合作的基因。

当年7月，清华教授唐传祥与斯坦福大学赵午组织首届SSMB合作会议，联合中、德、美等国科研人员攻关。

由于实验对电子束控制精度要求极高，团队先后8次前往柏林，利用德国PTB的MLS储存环开展研究。

2019年8月，实验取得关键突破：用1064纳米激光操控电子束，让其在48米周长的储存环内绕圈后形成精微的微聚束结构。

2021年2月，这项成果以"稳态微聚束原理的实验演示"为题发表在《自然》期刊上，杂志评论称其"结合了同步辐射光源与自由电子激光的双重特性"，为EUV光刻提供了全新可能。

真正让业界震动的是2022年的进展——SSMB-EUV光源输出功率突破1千瓦，光学腔稳定锁定时间超过4小时。

这两个关键指标意味着"光刻工厂"从概念走向现实有了基础技术支撑。同年12月，河北雄安新区与清华大学签订合作意向书，标志着这个巨型项目正式进入落地阶段。

2023年3月，清华大学副校长曾嵘实地考察选址，一个占地广阔的光刻工厂蓝图逐渐清晰。

与ASML的EUV光刻机不同，SSMB方案不是把复杂系统压缩到一台机器里，而是通过大型加速器设施产生稳定的极紫外光，用规模化、集中化的思路解决光源难题。这种"重资产、高产能"的模式，恰恰契合了中国在特高压、高铁等领域证明过的系统集成能力。

2025年7月，清华大学在极紫外光刻胶材料聚碲酮上取得新突破，补上了产业链中的又一块短板。这一进展让整个方案的商业化前景更加明朗。

唐传祥教授在接受采访时谨慎表示："EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走，但SSMB光源为突破核心瓶颈提供了全新思路。"这种谨慎背后是清醒的认知——光刻工厂确实面临挑战，巨额的初始投资、漫长的建设周期、对运营模式的严格要求，都考验着中国的产业耐力。

但这些挑战在国家战略需求面前，反而成了发挥制度优势的舞台。就像当年建设高铁网络时那样，中国不追求每个零部件都从零研发，而是在关键环节集中突破，再通过系统集成形成整体优势。

ASML的新任CEO富凯现在面临着比温宁克更棘手的局面。美国不仅要求限制设备出口，还试图干预在华设备的维修服务。

富凯无奈地指出："如果我们不在那里，我们就会失去控制。"这种失控感正在变成现实——当中国客户不再依赖ASML的设备和服务，当光刻工厂开始稳定输出极紫外光，全球半导体产业的格局将被重新定义。

ASML的焦虑本质上是所有依赖中国市场的西方高科技企业的缩影：政治力量强行切断商业纽带，最终只会倒逼被封锁者走出一条更具韧性的道路。

从温宁克2023年的警告到富凯2024年的焦虑，ASML的态度转变折射出一个简单的事实：在高科技领域，封锁从来不是长久之计。

中国没有选择复制ASML的技术路线，而是用自己擅长的系统工程思维另辟蹊径。光刻工厂的建设过程或许充满挑战，但它承载的不仅是打破技术封锁的希望，更是一种产业发展模式的创新。

当ASML还在政治与市场之间艰难平衡时，中国的科研团队已经在雄安的土地上埋下了突破的种子。这场较量的结局或许还需要时间验证，但有一点已经清晰——试图用限制来遏制创新，最终只会加速被超越的进程。

参考资料：

阿斯麦CEO：遏制中国可能产生意想不到的后果——环球时报