
芯片这玩意儿现在就是现代工业的核心,缺了它啥都玩不转。美国作为芯片老大,早几年就开始搞封锁,目的就是卡住中国的发展。2020年,美国把华为列入实体清单,台积电没法给华为供货,ASML也停了DUV光刻机的出口。
2023年初,美国拉着荷兰和日本签协议,进一步管制28nm和14nm设备。中国企业一下子就卡脖子了,生产链条断了,成本蹭蹭上涨。大家意识到,靠进口不是长久之计,得自己动手搞定核心技术。
封锁一波接一波,2023年10月,美国又更新规则,针对AI芯片和云计算。2024年,荷兰限制更高级的ArFi光刻机出口,日本也跟进,禁止23种设备输出。
中国进口渠道越来越窄,价格也水涨船高。企业们没坐以待毙,中科院和华为加大投入,攻关光刻胶和光源系统。哈工大2023年2月搞出高速激光干涉仪,支持350nm到28nm工艺测试。这东西帮大忙,解决了光刻机定位精度问题。

上海微电子是国产光刻机的主力军,从2002年起步,一步步从90nm推进。2023年,他们的SSA600系列能做90nm工艺,已有量产。7月,有消息说28nm浸没式光刻机年底交付,但后来有些报道被撤回,可能是宣传过头。
实际进展是,2023年8月,两台90nm光刻机送到昆山同兴达,每台1800万人民币。工厂上线后,运行正常,用在芯片封测上,提升了产能。
2023年12月,张江集团官微说上海微电子研制出28nm光刻机,但很快就改了内容。看来技术在迭代,但还没到大规模交付。
外媒注意到了,日本媒体报道中国可能成第三个掌握光刻机制造的国家。差距确实在缩小,高盛报告说中国光刻机停在65nm,但实际2024年工信部目录显示ArF光刻机分辨率65nm以下,套刻精度8nm以内。这标志着首台套装备进入推广阶段。

工信部2024年9月正式印发首台套目录,列出KrF和ArF光刻机。KrF是248nm光源,ArF是193nm,能做更精细的芯片。
这意味着国产设备从实验室走向应用。上海微电子的ArFi机型国产化率超85%,但光源和镜头还有进口依赖。2024年上半年,他们交付多套系统,支持65nm工艺。企业间合作紧锣密鼓,共享数据,加速测试。
封锁反倒刺激了中国创新。2024年,中国光刻机产量124台,市场规模160亿,虽然需求727台,缺口大,但自给率在爬升。
芯片进口量减了,英特尔中国收入从2019年的200亿降到2023年的148亿。AMD也从52亿掉到34亿。美国企业着急,英伟达说离不开中国市场。国内转战新赛道,中科鑫通2023年建光子芯片生产线,本源量子2024年1月出悟空芯片,72个量子比特,已适配计算机。

外媒看法两极分化。纽约时报2023年说美国收紧出口,影响荷兰和日本厂商,但中国在追赶。韩国媒体2024年报道,技术差距缩小,但时间窗口有限。
日媒强调,中国从90nm跨到65nm,花了6年努力。美媒提到荷兰阿斯麦抵制美国要求,捍卫自家利益。总的看,西媒承认中西差距在变小,但认为顶级EUV还需时间。
2025年是关键节点。外媒Wccftech报道,中国自产EUV光刻机用LDP技术,能量效率高,体积小。首台样机SMEE-3600在华为东莞工厂测试,计划2025年第三季度试产,2026年量产。

供应链国产化率60%,成本比ASML低。工信部支持下,2000家企业联盟,注资15亿。专利显示,上海微电子2025年公开极紫外辐射装置。
芯片自给率2023年23%,2024年超20%,2025年目标30%。设备自给超50%。光刻机涉及10万零件,组装复杂,但突破光源和光刻胶后,自信心上来了。
英伟达2025年中国收入预计缩水9亿。企业调整策略,继续合作。中国厂商在量子和光子领域弯道超车,寒武纪设计份额扩大。

美国封锁从2020年到现在,层层加码。2025年1月,新规限制AI出口,覆盖先进集成电路。中国备库存,继续生产。
封锁砸了美国自家饭碗,科技业裁员8万,市值蒸发27万亿。高通和AMD公开说离不开中国。国内企业相互协作,上海微电子扩产,计划增产能。全球半导体设备进口中国占比高,但国产替代在加速。
光刻机不是砸钱就行,得一步步攻关。上海微电子从90nm到28nm,花几年时间优化设计。2025年9月,28nm浸没式关键部件国产率85%。测试批次上千次,确保稳定性。
外媒分析,中国在成熟制程上追赶快,但EUV是硬骨头。港媒说,自给之路任重道远,但进展显著。

2025年,中国光刻机市场规模预计315亿全球份额。ASML中国销售额2024年占49%,但限制加码后,转卖中低端机。ArFi占比50%,EUV31%。
国产机价格低,性价比高。芯碁微装2024年营收7亿,增长37%,直写光刻设备用在IC和MEMS。合肥芯碁等公司推MAS和RTR系列,应用在先进封装。

芯片巨头调整,高NA EUV技术NA值0.55,分辨率8nm。国产LDP效率2.3%,优于ASML0.8%。试产后,稳定性优化是重点。ASML高管说中国需多年,但专利显示进展稳。供应链联盟,成本降30%。2025年论坛讨论电子特气,前驱体市场12亿。
国产光刻机从封测到逻辑制程,步步推进。昆山同兴达2023年引进两台,工艺包括涂胶曝光显影。参数优化,缺陷率降。2024年,FPD光刻机份额增。外媒称,中国放弃LPP,转LDP,设计高效。试产节点敲定,宣告自主力量。
更新时间:2025-11-19
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