奕斯伟材料等申请清洗载具处理方法及晶圆相关专利，降低使用经氧化处理的清洗载具清洗后的晶圆中的金属含量

金融界2025年7月5日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司申请一项名为“一种清洗载具的处理方法以及晶圆”的专利，公开号CN120243531A，申请日期为2025年02月。

专利摘要显示，本公开实施例公开了一种清洗载具的处理方法以及晶圆，清洗载具的处理方法可以包括利用氢氟酸溶液对清洗载具进行刻蚀处理；对刻蚀后的清洗载具进行氧化处理，以在清洗载具的内表面形成氧化膜，从而降低使用经氧化处理的清洗载具清洗后的晶圆中的金属含量。

天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本350000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目3次，专利信息1283条，此外企业还拥有行政许可24个。

西安欣芯材料科技有限公司，成立于2022年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本504400万人民币。通过天眼查大数据分析，西安欣芯材料科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目153次，专利信息119条，此外企业还拥有行政许可21个。

本文源自金融界