光刻机大战:阿斯麦叛变,台积电转向,中国芯片逆袭

芯片这玩意儿,现在已经是工业里头最要命的核心了,美国那边从2018年就开始盯着中国这块市场下手,因为中国是全球最大的芯片买家,要是断了供,那中国的高科技产业就得吃大亏。他们先从华为这种领头羊公司开刀,2018年12月直接在加拿大抓了孟晚舟,这事儿闹得沸沸扬扬,标志着中美科技摩擦正式拉开序幕。接着2019年5月,美国把华为扔进实体清单,意思就是美国公司不能卖芯片和技术给它。

这还不算完,美国开始拉盟友下水,荷兰的阿斯麦本来和中国生意做得风生水起,那时候中国订单占他们销售额的比重很大,2023年第三季度就占了46%。可美国施压荷兰政府,从2019年就开始拖延极紫外光刻机的出口,这种机器是做7纳米以下先进芯片的必需品。荷兰那边起初还犹犹豫豫的,毕竟钱摆在那儿不赚白不赚,但到2023年1月,荷兰就同意加入美国的联盟,限制深紫外光刻机对华出口。3月底,荷兰政府正式出规定,阿斯麦得为特定型号申请额外许可,阿斯麦高层彼得·温宁克当时就说,公司得跟着政府走,没辙。

美国这套组合拳打得稳准狠,2020年5月又出新规,禁止用美国技术的外国企业给实体清单上的中国公司做芯片。这直接砸到台积电头上,台积电是全球最大的芯片代工厂,本来在南京建厂搞得挺顺利,2018年投产12英寸晶圆,专攻成熟工艺。可2020年5月15日,台积电就宣布停接华为新订单,先进节点像7纳米那种,直接断供。

台积电高层当时强调,这是为了不违反美国规矩,避免罚款啥的。2022年10月7日,美国商务部又放大招,全面切断中国拿某些半导体设备和技术的渠道,包括光刻机零件。2023年10月17日,美国再更新规则,管制范围扩大到软件和备件。阿斯麦那边2024年1月1日就暂停交付NXT:2050i和NXT:2100i型号给中国客户,这些是处理7纳米以下的家伙。到了2024年9月,美国联手荷兰限制软件更新和备件供应,阿斯麦财务主管罗杰·达森在10月说,他们储备了材料,应付中国可能的稀土出口管制,因为中国7月就对稀土出许可制度,反制回来了。

阿斯麦这公司,本来靠中国市场吃香喝辣的,2024年第四季度财报显示,中国收入占比从上年同期49%掉到26%,业务量下滑25%到30%。他们高层在2025年10月15日还说,为稀土控制做好准备,利用长交货期囤货,但预计2026年中国需求还会降。欧盟那边2025年10月有个智库建议,对深紫外机也来个惩罚性出口禁令,进一步卡脖子。中国这边有企业试着逆向工程阿斯麦的深紫外机,据说2025年10月,有家公司拆开研究后装不回去,还得求阿斯麦帮忙修,这事儿闹得挺尴尬,说明技术差距不是一朝一夕能追上的。美国商务部长吉娜·雷蒙多在2025年反复强调,这些管制是为国家安全,防着技术用在军事上,她这态度挺强硬,没啥回旋余地。

台积电的动作更直接,2024年10月,他们发现自家芯片出现在华为Ascend 910B处理器里,美国商务部立马调查。11月8日,台积电就通知中国客户,从11月11日起,停供7纳米及以下的AI芯片,包括图形处理器和加速器那种。这波操作砸到比特大陆、商汤科技这些中国AI公司头上,他们本来靠台积电产能搞高性能计算,现在得急转弯找本土链子。台积电在2025年1月31日又通知多家中国设计公司,停14纳米和16纳米的供应,除非用指定封装测试厂。2月,他们承认执行挑战大,因为有些货通过第三方流进中国市场。4月22日,台积电公开说,供应链复杂,合规难搞。美国这边2025年9月2日,还撤销了台积电对中国南京Fab 16的特殊出口许可证,到年底就彻底拉闸,这可能打乱他们的16纳米和28纳米生产。台积电高层强调,这是响应美国指令,没法子。

中国这边呢,早从封锁前就开始憋着劲儿搞自主研发,毕竟核心技术得捏在自己手里。半导体自给率2024年是13.6%,2025年据报告预计能到50%,虽然Made in China 2025计划目标是70%,但实际会落后点儿,可进步是实打实的。上海微电子设备集团2023年12月宣布搞出28纳米光刻机SSA/800-10W,用深紫外光源,能处理28纳米节点。

2024年12月进入生产准备,2025年1月7日交付首批,测试分辨率跟国际水平差不多,帮助中芯国际这些厂扩产能。另一边,AMIES公司2025年8月发货第500台步进光刻机,占国内市场90%,这说明本土设备在成熟节点上站稳脚了。2025年10月,中国有专利在深紫外机上改进芯片图案质量,玉良盛的28纳米浸没式深紫外机在中芯国际测试。

更牛的是哈尔滨工业大学团队,2025年1月开发出放电等离子体极紫外光源,产生13.5纳米辐射,能量转换效率高,成本比激光产生等离子体低。这技术获奖了,绕过美国禁令,因为不是传统路径。1月20日,他们公布这光源进入工厂试验,计划集成到国产系统里。3月,中国科学院上海研究所研究1微米激光极紫外,信号未来方向,但工程难题还多。华为和中芯国际这些企业加大投入,吸引工程师涌进芯片设计和制造,2025年2月14日,报告说中国半导体设备自给率预计到50%。整体看,美国管制短期内断了链子,但逼着中国加速国产化,中芯国际扩先进节点,华为麒麟芯片迭代快。

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更新时间:2025-11-02

标签:科技   光刻   中国   芯片   大战   美国   纳米   华为   深紫   荷兰   公司   节点

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