兴福电子获得发明专利授权:“一种利用聚焦离子束制备TEM孔隙样品的方法”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示兴福电子(688545)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种利用聚焦离子束制备TEM孔隙样品的方法”,专利申请号为CN202411831653.4,授权日为2025年8月29日。

专利摘要:本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及深度较大的孔隙样品,提供了一种采用聚焦离子束(FIB)制备孔隙样品观察底部结构的方法。该方法通过将离子减薄专用树脂填充入孔隙内部、引入改进的倒切技术等手段,解决了现有技术中制备样品时产生的孔隙结构变形、聚焦离子束对孔隙内部损伤大的问题,本发明的技术效果在于它能够提高孔隙样品底部结构的稳定性、避免减薄过程中对孔隙结构的损伤。

今年以来兴福电子新获得专利授权26个。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3923.73万元,同比增38.91%。

通过天眼查大数据分析,湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目163次;财产线索方面有商标信息7条,专利信息399条,著作权信息6条;此外企业还拥有行政许可275个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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更新时间:2025-09-02

标签:科技   离子束   孔隙   样品   方法   电子   天眼   专利   结构   技术   损伤

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