8月18日,陕西延安低丰度天然气提氦示范工程现场,随着最后一组验收数据核验通过,安徽万瑞冷电科技有限公司自主研制的“低温精制及脱氖装置”正式通过国家工程验收。
监测系统实时显示,装置产出氦气纯度稳定在99.99997%(6N9级),核心杂质氖含量控制在0.28ppm以下。
这组数据不仅刷新了国内纪录,更直接对标国际顶尖标准。
在场的项目负责人荣成旭长舒一口气,这位连续一周驻守现场的工程师,袖口还沾着设备调试时的油污。
“从2019年3月项目立项到今天验收,整整六年,一千多次实验总算没白费。”
他手中的验收报告上,中国计量科学研究院、中国工业气体工业协会等第三方机构的鉴定结论清晰标注:“该技术达到国际领先水平,实现低丰度天然气提氦领域重大突破”。
作为元素周期表中最稳定的稀有气体,氦气具有沸点极低(-268.93℃)、化学惰性极强的独特属性,被业界誉为“工业血液”。
在医疗领域,核磁共振成像(MRI)设备的超导磁体需在4.2K(-268.95℃)超低温环境下维持超导态,液氦是唯一能满足该需求的制冷剂,一旦断供,价值数千万元的设备将瞬间丧失功能。
航天领域,氦气作为火箭推进剂系统的增压介质,能在极端温度下保持稳定,为燃料输送提供恒定压力,同时承担卫星热控系统的相变工质角色,直接关系航天器在轨安全。
半导体制造中,从离子注入到薄膜沉积,氦气作为保护气可隔绝氧气与杂质,确保7纳米以下制程芯片的良率,堪称“芯片生产的保护盾”。
但是我国天然气田氦含量普遍仅为0.03%~0.05%,属于典型的低丰度气源,而美国休斯顿盆地、卡塔尔北部气田等世界级富氦气田的氦含量可达1%~7%,资源禀赋差距悬殊。
这种低丰度直接导致提纯过程面临“回收率低、能耗高、纯度难达标”的三重难题,传统工艺下,我国氦气提纯回收率不足60%,远低于国际富气田90%以上的水平。
数据显示,2020年我国高纯氦气需求量达2200万立方米,进口依存度高达95%以上。
2022年受国际局势影响,美国、卡塔尔联合收紧供应配额,国际高纯氦气价格从常规的120元/立方米暴涨至380元/立方米,国内多家半导体企业因原料断供被迫减产。
更严峻的是,核心提纯设备与技术被全面封锁:美国Cryomech公司的4KGM制冷机、德国Linde公司的大型氦透平膨胀机等关键装备被列入对华禁运清单,精度达0.01ppm的高效滤油技术更是被严格管控,形成“设备买不到、技术学不着”的闭环封锁。
此前国产氦气提纯技术长期卡在5N级(99.999%),而MRI、量子计算机等高端领域需6N级(99.9999%)以上纯度,其中6N9级是公认的“标杆级标准”——这意味着每百万个气体分子中,杂质分子不得超过0.3个。
最大的技术障碍在于氖气分离:氦与氖的分子直径仅相差0.6埃(1埃=0.1纳米),沸点差值不足5K,常规分离方法根本无法实现有效剥离,而氖含量若超过1ppm,便会导致超导磁体失超,直接影响设备运行稳定性。
2019年3月,万瑞冷电牵头承担国家重点研发计划“稀有气体高效提取与高值利用技术”专项(项目编号:2019YFB0605600),正式开启全国产化攻关之路。作为中国电科博微所下属企业,团队明确提出“不依赖进口技术、不采用仿制路线”,从基础原理到工程化落地全程自主研发。
攻关初期,团队就遭遇了氖氦分离的“卡脖子”难题,负责核心工艺的工程师胡有明组建专项小组,从吸附剂配方到分离设备结构逐一突破。
“氖和氦就像‘孪生兄弟’,常规吸附剂根本无法区分。”胡有明回忆,仅吸附剂筛选就做了800余次实验,最终自主研发出Zr-MOFs基复合吸附剂,通过调控孔径大小与表面活性位点,实现对氖气的选择性吸附。
2021年,团队创新性提出“四阶耦合联合法”工艺体系,彻底打破传统提纯瓶颈:
第一阶催化脱氢,采用Pt/Al₂O₃贵金属催化剂,在300℃反应温度下将原料气中氢气含量从0.5%降至0.1ppm以下,避免后续深冷过程中形成爆炸混合物;
第二阶膜分离,选用自主研制的PDMS/陶瓷复合膜组件,利用分子筛分效应截留甲烷、氮气等大分子杂质,氦气纯度初步提升至90%;
第三阶变压吸附,采用活性炭-分子筛复合吸附床,通过压力交替变化实现氦气与剩余杂质的深度分离,纯度突破99.99%;
第四阶深冷精制,在30K(-243.15℃)超低温环境下,通过双塔串联结构(粗分塔+精分塔),结合自主吸附剂实现氖气精准捕获,最终将纯度推向6N9级。
工程化落地同样充满挑战。为实现24小时连续运行,团队采用模块化设计理念,将脱氢、膜分离、变压吸附、深冷精制单元集成化,管道连接采用真空绝热技术,冷损降低30%;
控制系统搭载自主开发的AI算法,实时监测流量(精度±0.1m³/h)、压力(精度±0.01MPa)、杂质浓度(精度±0.01ppm)等12项参数,通过PID闭环控制自动调整运行状态,确保纯度稳定性。
整套装置从阀门、管道到制冷机、吸附剂,100%实现国产化,其中自主研制的4K斯特林制冷机,制冷量达50W,性能比肩美国同类产品。
2024年12月,延安示范装置完成设备安装与调试,进入试运行阶段。
选择延安作为验证现场,正是因其具备真实的低丰度天然气气源条件,当地气田氦含量稳定在0.04%,与国内多数气田禀赋一致,可充分验证技术的普适性。
试运行期间,装置连续运行180天,累计产出高纯氦气20万立方米,纯度始终稳定在6N9级,氖杂质含量最高不超过0.3ppm,完全符合验收标准。
目前,万瑞冷电已形成年产400万立方米高纯氦气的产能,单台装置年处理原料气1200万立方米,氦气回收率达85%,较国际同类设备提升10个百分点,能耗降低20%。
在专利与标准领域,企业手握19项核心知识产权,其中“一种低丰度天然气提氦用深冷脱氖装置”(专利号:ZL202310245678.9)获2024年度气体行业专利金奖;
主持制定的《氦气纯化器》(HG/T5999-2025)行业标准已于2025年5月实施,同时参与修订《天然气中氦气含量测定方法》(GB/T42490-2024)等3项国家标准,形成覆盖“提取-纯化-检测”的全链条标准体系。
2025年6月,万瑞冷电与法国AirLiquide签订首台6N9级提氦装置出口合同,成为我国首个向发达国家出口高纯氦气提纯设备的企业;
7月,两套氦气回收系统交付韩国SK海力士,用于芯片制造环节的氦气循环利用,设备投用后可降低客户氦气消耗量35%。
与此同时,国际氦气巨头悄然调整策略,美国AirProducts公司将中国区高纯氦气报价下调18%,但市场主动权已实质性转移。
国内半导体企业采购数据显示,2025年二季度国产高纯氦气采购占比已提升至15%,较去年同期增长10个百分点。
这一突破的战略意义远超产业本身,在医疗领域,国产高纯氦气的稳定供应使MRI设备开机率从82%提升至95%,检查费用降低10%;
航天领域,长征十号火箭的氦气供应已实现100%国产化,为2027年载人登月任务提供保障;
半导体领域,中芯国际、长江存储等企业已将国产氦气纳入核心供应商体系,为14纳米及以下制程扩产解除原料顾虑。
正如万瑞冷电总工程师章学华所言:“战略资源的自主可控,不是‘选择题’而是‘生存题’,这次突破为国家科技安全筑牢了氦气防线。”
更新时间:2025-09-18
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