国产光刻机到底如何?ASML:至少有10年以上差距

光刻机是芯片制造的核心设备,全球能造光刻机的厂商就四家:荷兰ASML、日本尼康、佳能和中国上海微电子。

这四家技术差距大得很,尤其是造7nm以下芯片的EUV光刻机,全天下只有ASML能造。

但大家也都清楚,美国卡着脖子不让ASML卖EUV给中国,连高端浸润式DUV都限制,逼得咱们必须自己搞光刻机。

那现在国产光刻机到哪步了?上海微电子的SSA600是公开的最强型号,能搞定90nm、110nm、280nm的芯片工艺,8寸、12寸产线都能用。

还有去年有曝光的氟化氩光刻机,套刻精度能到8nm,算是离浸润式DUV最近的产品,能应付28nm工艺。但问题在于,只要没摸到浸润式DUV的门,再先进也有限。

ASML的CEO说过,限制卖光刻机给中国,反而可能逼出中国自己的先进光刻机。但人家也直说,中国技术至少落后ASML十年。为啥?ASML十多年前就搞出了浸润式DUV,咱们现在连浸润式DUV都没完全搞明白,这十年差距不是白说的。

美国打压中国芯片产业的核心就是光刻机。要是咱们能造出自己的EUV光刻机,那芯片封锁就彻底失效了。但EUV这玩意儿有多难?真不是三五年能搞定的,可能五年、八年甚至更久都悬。

说到底,光刻机不是靠砸钱就能速成的。它需要顶尖的光学、机械、材料、算法等多领域技术积累,还得有完整的产业链配合。咱们现在能造90nm、28nm的光刻机,已经不容易了,但离世界顶尖还差得远。

不过,差距大不代表没希望。从无到有、从有到优,每一步都难,但每一步都算数。只要坚持自研,哪怕每年进步一点点,十年后回头看,说不定已经追上不少了。毕竟,芯片产业是国之重器,除了咬牙追赶,咱没有退路。

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更新时间:2025-10-31

标签:科技   光刻   差距   中国   芯片   微电子   美国   氟化   技术   尼康   佳能

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